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Sonix - 超聲波掃描儀

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更新時間：2023-07-21 08:32:58瀏覽次數(shù)：296次

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產(chǎn)品簡介

詳細介紹

美國 SONIX

超聲波掃描顯微鏡

SONIX™公司是世界500強丹納赫集團(NYSE: DHR)下的全資子公司，是超聲波掃描檢測儀和無損檢測設(shè)備的製造商。自1986年成立以來，SONIX™在無損檢測領(lǐng)域中不斷改革創(chuàng)新，是基於微機平臺，提供全數(shù)位化成像方案的公司。 SONIX™ 一直致力於技術(shù)革新，提供給客戶最的聲學(xué)檢測技術(shù)。

SONIX™ 設(shè)備被廣泛應(yīng)用於各種材料的無損檢測，包括半導(dǎo)體，汽車零件和其他先進元件。擁有獨立開發(fā)的軟體，硬體和技術(shù)，這麼多年來通過和客戶的不斷合作，實現(xiàn)了SAM技術(shù)的持續(xù)改進。 SONIX™ 努力提供最準確的資料，的圖像品質(zhì)，非凡的操作性和設(shè)備的高可靠性，從而為客戶提高效率，節(jié)約成本。

SONIX 軟體優(yōu)勢

● 可編程掃描，自動分析
定制掃描程式，一鍵開始掃描，自動完成分析，生成資料

● FSF表面跟蹤線
樣品置於不平的情況下，自動跟蹤平面，獲取同一層面圖片

● ICEBERG離線分析
存儲資料後，可在個人電腦上進行再次分析

● TAMI斷層顯微成象掃描
無需精確選擇波形，可任意設(shè)定掃描深度及等分厚度，一次掃描可獲得200張圖片，速完成分析。

SONIX 軟體 - 應(yīng)用于塑封FlipChip和Stacked Die產(chǎn)品的成像功能

SONIXTM 的Flexible TAMITM設(shè)計

專為需要檢測由不同層厚和材料組成的多層封裝產(chǎn)品,例如:

● 3-D架構(gòu)
● Stacked Die
● Bonded wafers
● Wafer 級封裝 (WLP)
● 塑封Flip Chips

* 所有 SONIXTM ECHOTM系列所選配的

TAMITM 功能都包含的 Flexible TAMITM Gates

SONIX 硬體優(yōu)勢

● 緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計
模組化設(shè)計使得結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定，易於維護

● 高速、穩(wěn)定的馬達設(shè)計
掃描軸採用的線性伺服馬達，提供高速、穩(wěn)定、無磨損的掃描

● 的超聲波探頭/透鏡
提供精確的缺陷檢驗，最小能探測到僅0.1微米厚度的分層。

● PETT技術(shù)
反射及透射同時掃描，有效提高元器件分析效率

封裝檢測設(shè)備

ECHO-LS™

ECHO-VS™

SONIX ECHO VSTM是專為更高精度要求，更複雜元器件設(shè)計的新一代設(shè)備。廣泛應(yīng)用在 Flip chips，Stacked die，Bumped die，Bonded wafers 等。

● 高解析度下，掃描速度是傳統(tǒng)超聲波掃描顯微鏡的2.5倍
● 的波形模擬器(Waveform Simulator)及波束仿真(Beam Emulator)
● 掃描解析度小於1微米
● 水溫控制系統(tǒng)及紫外殺菌系統(tǒng)超高頻狀態(tài)工作下，信號更穩(wěn)定

ECHO Pro™
全自動超聲波掃瞄顯微鏡

全自動生產(chǎn)型:

● 批量 Tray盤和框架直接掃瞄
● 編程自動判別缺陷
● 高產(chǎn)量,無需人員重複設(shè)置
● 自動烘乾

晶圓檢測設(shè)備

AutoWafer Pro™

SONIX AutoWafer ProTM是專為全自動晶圓檢測設(shè)計的機型，主要應(yīng)用在Bond wafer，MEMS 內(nèi)部空洞、離層檢測，TSV量測方面。

● 使用於200和300mm晶圓
● 符合一級淨化間標準
● Cassette裝載，全自動檢測，支持FOUP或FOSB機械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協(xié)議
● KLARF輸出檔

Pulse 2TM 信號發(fā)生器/接收器 - 適合所有 ECHO & AutoWafer 設(shè)備

● 相對標準的信號發(fā)生器/接收器可獲得 +12dB
● SNR比例(Signal-to-noise Ratio)具備4x 倍進展
● 從低層次的背景雜訊中分隔信號
● 產(chǎn)生乾淨，清晰的圖像，即使在超高頻的信號轉(zhuǎn)換器

超聲波探頭 - 適合所有 ECHO 系列

Sonix S-series Transducer 超聲波探頭是為了滿足半導(dǎo)體製造商的高要求而設(shè)計的:-

● 自家研發(fā)
● 頻率範圍寬闊
● 結(jié)構(gòu)堅固

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