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行業(yè)產(chǎn)品

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OAI - 曝光機 / 光源/ 光功率計及分析

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更新時間：2023-02-08 14:34:10瀏覽次數(shù)：446次

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產(chǎn)品簡介

詳細介紹

OAI是業(yè)內生產(chǎn)可靠并精密設備的MEMS，半導體，納米技術，潔凈室自動化和紫外線光測量的制造商。 OAI系統(tǒng)可同時用于研發(fā)和生產(chǎn)半導體，MEMS和微流體裝置。從光罩對準和UV光源UV電力儀表，OAI是在同行業(yè)中的者超過40年。

　

OAI Series 6000 生產(chǎn)型曝光機

　

 全面的曝光系統(tǒng)

●  0.5μ 精確正面對準
●  1μ 正反面對準
●  高產(chǎn)量：170 WPH in 1st Mask Mode
●  均勻性優(yōu)于±3%
●  適用于各種規(guī)格的晶片
●  自動平衡補償
●  適用于工藝的重復性要求
●  亞微米分辨率

　

OAI在MEMS和微流體裝置方面的產(chǎn)品主要包括 : 

    
                                                                             

 

　

 

 

　


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