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顯微鏡搬運(yùn)機(jī)-AMX8R

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

更新時(shí)間：2022-01-19 08:50:20瀏覽次數(shù)：413次

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全自動(dòng)的操作系統(tǒng)，極大地減少人為干預(yù)
全自動(dòng)的操作系統(tǒng)，極大地減少人為干預(yù)；快速、高效的操作流程，滿足客戶產(chǎn)能要求；配備國(guó)內(nèi)優(yōu)質(zhì)顯微鏡觀測(cè)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)觀察和測(cè)量的高精度要求，是芯片制造廠的

項(xiàng)目

規(guī)格描述

晶圓尺寸

4、6、8寸（可選）

晶圓最小厚度

150um

晶舟類型

開放式晶舟(SEMI Stad.25(26)-slot)

晶舟載臺(tái)數(shù)量

1

檢查模式設(shè)置

全檢 / 奇數(shù)檢 / 偶數(shù)檢 / 手動(dòng)選擇

晶舟內(nèi)晶圓掃描

有

晶圓預(yù)定位

有

晶圓定位平邊及Notch方式

非接觸式

晶圓定位平邊及Notch

Notch/平邊

檢查功能

微觀檢查、晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查1、晶背宏觀檢查2

金相顯微鏡控制臺(tái)

有

全自動(dòng)載物臺(tái)

有

全自動(dòng)載物臺(tái)控制臺(tái)

有

全自動(dòng)載物臺(tái)功能

自動(dòng)傳送、檢查模式設(shè)置、自動(dòng)定點(diǎn)、手動(dòng)定點(diǎn)、自動(dòng)復(fù)歸

顯微鏡

金相顯微鏡標(biāo)準(zhǔn)配置及功能

機(jī)臺(tái)全尺寸

1800*700*1200

W1*D1*H

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