高產(chǎn)能機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，布局采用的分體式結(jié)構(gòu)，高速機(jī)器人在工藝單元間傳遞，同時(shí)工藝單元中采用共用擺臂結(jié)構(gòu)，使單元結(jié)構(gòu)尺寸大幅減小，單元配置更加靈活；另外機(jī)臺(tái)采用了目前的軟件平臺(tái)調(diào)度功能，可以充分發(fā)揮機(jī)器人的利用率，減少機(jī)器人與各工位的等待時(shí)間，全新的軟件操作界面，使操作員更方便直觀的使用，大大提高工作效率，減少失誤率。機(jī)臺(tái)產(chǎn)能可達(dá)280WPH。 晶片尺寸
2-6寸

技術(shù)參數(shù)
1、晶片尺寸： 2-6英寸
2、上下料方式： 高效機(jī)械手自動(dòng)傳送
3、離心機(jī)轉(zhuǎn)速
額定轉(zhuǎn)速： 6000 rpm
最小調(diào)整量： 1rpm
轉(zhuǎn)速精度： ±2rpm（50 rpm～6000 rpm）
4、吸盤(Chuck)
夾持方式： 真空吸附
吸盤真空檢測(cè)： 數(shù)顯真空壓力傳感器
5、 收集杯材質(zhì)(CUP)： PP，氣液分離排放
6、 CUP自動(dòng)清洗功能： 有
7、 電機(jī)漏液防護(hù)功能： 有
8、 光刻膠/顯影液過(guò)濾： 有，0.1um/0.2um可選
9、 熱處理單元：          熱板HP單元（max.180℃）10個(gè)，冷板CP單元2個(gè)，根據(jù)工藝制程不同可靈活選配
10、光刻膠供應(yīng)：          采用高精度氣動(dòng)/電動(dòng)計(jì)量泵
11、顯影液供應(yīng)：          采用N2加壓
12、滴膠精度：            ±0.1ml ；滴膠范圍：0.6-3ml
13、工作方式：            自動(dòng)供膠，自動(dòng)顯影，自動(dòng)取送片
14、產(chǎn)能：            280WPH

應(yīng)用行業(yè)
廣泛服務(wù)于半導(dǎo)體、LED、分立器件、功率器件等領(lǐng)域