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JSM-7610FPlus 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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更新時間:2024-08-02 07:47:12瀏覽次數(shù):178次

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產品簡介

的JSM-7610F的光學系統(tǒng)經(jīng)過改進,實現(xiàn)了分辨率15kV 0.8nm、1kV 1.0nm的進一步提升,以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng),提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。此外還具備利用GENTLEBEAMTM模式

詳細介紹

二次電子像分辨率

0.8 nm(加速電壓 15 kV),1.0 nm(加速電壓 1 kV )
分析時 3.0 nm (加速電壓 15 kV, WD 8 mm, 探針電流 5 nA )

倍率

Direct magnification:  x25 to 1,000,000(120 x 90 mm)
Display magnification:  x75 to 3,000,000(1,280 x 960 pixels)

加速電壓

0.1 ~ 30 kV

探針電流

數(shù) pA ~ 200 nA

電子槍

浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍

透鏡系統(tǒng)

聚光鏡(CL)、  光闌角控制鏡(ACL)、  半浸沒式物鏡(OL)

樣品臺

全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動

電子檢測器系列

高位檢測器、 r‐過濾器 內置、  低位檢測器

自動功能

自動聚焦、自動消象散、自動亮度/襯度調節(jié)

圖像觀察用
液晶顯示器

屏幕尺寸 23英寸寬屏
 分辨率 1,920 × 1,080像素

抽真空系統(tǒng)

電子槍室/中間室 SIP 離子泵
樣品室 TMP 分子泵

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