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江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司
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更新時(shí)間：2024-07-02 09:06:36瀏覽次數(shù)：100次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 包裝印刷網(wǎng)主要特點(diǎn)： ▏多軸聯(lián)動(dòng)環(huán)切技術(shù)，保證環(huán)切精度。▏定制化工作臺(tái)設(shè)計(jì)，保證TAIKO工藝下晶圓特殊結(jié)構(gòu)穩(wěn)定加工。▏四工位，多片協(xié)調(diào)加工，加工效率高。▏全自動(dòng)上下料、傳輸定位、清洗 、解膠、取環(huán)，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)運(yùn)行模式，大大降低OP工作量。▏穩(wěn)定的TAIKO外環(huán)解膠和取環(huán)。▏兼容性好，與市面上的其他類型設(shè)備，關(guān)鍵耗材兼容性高。▏便捷的操作和人機(jī)交互界面。 功能： ?掉環(huán)檢測(cè)功能；?工作臺(tái)自動(dòng)清洗功能；?智能UV解膠系統(tǒng)；? 操作日志記錄功能；?二流體清洗功能；?真空預(yù)警與真空管路去水功能；?搬運(yùn)撞擊檢測(cè)功能；? 條形二維碼識(shí)別功能；? *工廠自動(dòng)化模塊；? *軟件定制。
應(yīng)用：
主要用于TAIKO工藝下的半導(dǎo)體晶圓的全自動(dòng)外環(huán)去除，適用于特定半導(dǎo)體等材料。
技術(shù)指標(biāo)：
使用條件：
? 請(qǐng)使用大氣壓露點(diǎn)在-15 ℃以下殘余油分為0.1 ppm，過濾度在0.01 μm/99.5 %以上的清潔壓縮空氣。
? 請(qǐng)將放置機(jī)械設(shè)備的房間室溫設(shè)定在20 ℃?25 ℃之間，并將波動(dòng)范圍控制在±1 ℃以內(nèi)。
? 請(qǐng)將切削水的水溫控制為室溫+2 ℃（變化波動(dòng)范圍在±1 ℃以內(nèi)），將冷卻水的水溫控制為與室溫相同（變化波動(dòng)范圍在±1 ℃以內(nèi)）。
? 其他，請(qǐng)避免設(shè)備受到撞擊及外界的有感振動(dòng)。另外，請(qǐng)不要將設(shè)備安裝在鼓風(fēng)機(jī)、通風(fēng)口、產(chǎn)生高溫的裝置及產(chǎn)生油霧的裝置附近。
? 本設(shè)備會(huì)使用水。萬一發(fā)生漏水影響，請(qǐng)把本設(shè)備安裝在有防水性之地板及有排水處理之場(chǎng)所。
? （*）為非標(biāo)準(zhǔn)配置。
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