超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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更新時間：2024-02-05 07:38:38瀏覽次數(shù)：245次

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  日立電子顯微鏡

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北京元中銳科集成檢測技術有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：2條

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聯(lián)系人：王睿

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產(chǎn)品簡介

現(xiàn)有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。Regulus系列繼承了現(xiàn)有機型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流。通過優(yōu)化電子光學系統(tǒng)，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。此外，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。*1Regulus8240/8230/8220

詳細介紹

沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空樣品倉
運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2