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德國 Raith 電子束光刻機

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產(chǎn)品型號Pioneer Two

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地武漢市

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2024-02-16 10:27:44瀏覽次數(shù)：212次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：478條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：王先生

產(chǎn)品簡介

德國RaithPioneerTwo電子束光刻機：1.系統(tǒng)適用于2"及以下的樣片，采用熱場發(fā)射電子槍，加速電壓為20V~30kV

詳細介紹

德國 Raith Pioneer Two 電子束光刻機：



1.系統(tǒng)適用于2"及以下的樣片，采用熱場發(fā)射電子槍，加速電壓為20V~30kV。可實現(xiàn)高分辨電子束曝光，最小驗收線寬≤8nm。
2.系統(tǒng)中集成了高精度的激光干涉工作臺，運動行程為50 x 50 x 25mm，XY方向定位精度2nm，可以實現(xiàn)精確的拼接套刻，拼接套刻精度≤50nm。
3.系統(tǒng)兼具了高精度成像度量的功能，其成像效果和市面上中的熱場電鏡類似，放大倍數(shù)為20x ~1,000,000x。
4.另外，除了標準配置, 客戶還可以增加一些選配件，如選配背散射探測器、能譜儀等，進行材料分析；選配工作臺旋轉傾斜模塊，實現(xiàn)不同角度的材料成像等。如果選擇相應的選配件，請增加相應的價格。


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