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日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000

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產品型號日立SU9000

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更新時間:2023-12-29 08:18:06瀏覽次數:259次

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產品簡介

立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的半導體器件,高分辨成像所設計

詳細介紹

立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的半導體器件,高分辨成像所設計。

  • 新的電子槍和電子光學設計提高了低加速電壓性能。

    • 0.4nm / 30kV(SE)

    • 1.2nm / 1kV(SE)

    • 0.34nm / 30kV(STEM)

  • 用改良的高真空性能和的電子束穩(wěn)定性來實現(xiàn)高效率截面觀察。

  • 采用全新設計的Super E x B能量過濾技術,高效,靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。


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