的高性能SEM
Apreo掃描電子顯微鏡(SEM)革命性的復合透鏡設計結合了靜電和磁力浸沒技術,可產(chǎn)生的分辨率和信號選擇。這使得Apreo SEM成為研究納米顆粒,催化劑,粉末和納米器件的平臺,同時不會影響磁性樣品的性能。
Apreo SEM得益于的鏡頭內(nèi)反向散射檢測,即使在傾斜,短工作距離或敏感樣品上也能提供出色的材料對比度。新型復合透鏡通過能量過濾進一步改善了對比度,并為絕緣樣品的成像增加了電荷過濾??蛇x的低真空模式現(xiàn)在具有500 Pa的腔室壓力,即使是的絕緣體也能成像。
憑借所有這些選項,包括復合最終鏡頭,*的檢測和靈活的樣品處理,Apreo SEM的性能和多功能性將在未來許多年內(nèi)滿足您的研究挑戰(zhàn)。
新型Apreo掃描電子顯微鏡(SEM)可為各種材料(包括納米顆粒,金屬,復合材料和涂層)提供高性能,并結合創(chuàng)新功能,以獲得更好的分辨率,對比度和易用性。
?的復合最終鏡頭在1 kV時可提供1.0 nm的出色分辨率,無需任何樣品的光束減速,即使它是傾斜的或地形的。
?用的反向散射檢測 - 材料對比度始終可用,即使在低電壓和電子束電流,任何傾斜角度,光束敏感樣品和電視速率成像時也是如此。
?的探測器靈活性 - 通過組合各個探測器段的信息,獲得最重要的對比度或信號強度。
電子光學:
1.1發(fā)射源:鎢燈絲(高性能電子光學鏡筒,雙陽極熱發(fā)射電子槍)
1.2固定式物鏡光闌,無需手動調(diào)整使用方便
1.3加速電壓:200V – 30kV,自動256級偏壓設計
1.4放大倍數(shù):6× - 1000000×
1.5極靴內(nèi)有一路單獨抽真空系統(tǒng),保證在低真空和環(huán)境模式下電子槍高真空和不受污染,延長燈絲壽命
1.6電子束束流:可達到的值不小于2µA,并連續(xù)可調(diào)
1.7使用工廠預對中燈絲更換方便
真空系統(tǒng)
2.11個250 l/s分子渦輪泵+1個機械泵
2.2高真空模式:<1×10-5 Pa
2.3低真空模式:10 – 130 Pa
2.4環(huán)境真空模式:10 – 2600 Pa
2.5高真空模式下的換樣時間:≤150秒
2.6低真空及環(huán)境真空模式下的換樣時間:≤270秒
分辨率
3.1高真空模式下的分辨率
3.1.130 kV下3.0 nm (二次電子)
3.1.230 kV下4.0 nm (背散射電子)
3.1.33 kV下8.0 nm (二次電子)
3.2環(huán)境真空模式下的分辨率(以英文樣本公布的參數(shù)為準,并作為驗收指標)
3.2.130 kV下3.0 nm (二次電子)
3.2.2具備獨立的環(huán)境真空/超低真空模式二次電子探頭