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蘇州錸鉑機(jī)電科技有限公司


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AFTEX-8000系列成膜設(shè)備

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品       牌

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更新時(shí)間：2023-10-08 10:27:40瀏覽次數(shù)：170次

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商鋪產(chǎn)品：3條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

使用高活性高密度ECR（電子回旋共振）等離子體源，通過在等離子體引出部配置目標(biāo)，實(shí)現(xiàn)基于固體源的ECR等離子體成膜。因?yàn)椴恍枰褂肅VD那樣危險(xiǎn)的氣體，所以不需要排氣處理，是對(duì)地球環(huán)境友好的成膜技術(shù)。

詳細(xì)介紹

AFTEX-8000系列是在1個(gè)成膜室搭載2個(gè)傾斜配置的ECR等離子體源，在高質(zhì)量的光學(xué)薄膜等8英寸直徑的基板上形成均勻性出色的多層膜，C to C枚葉式全自動(dòng)多層膜形成裝置。使用高活性高密度ECR（電子回旋共振）等離子體源，通過在等離子體引出部配置目標(biāo)，實(shí)現(xiàn)基于固體源的ECR等離子體成膜。因?yàn)椴恍枰褂肅VD那樣危險(xiǎn)的氣體，所以不需要排氣處理，是對(duì)地球環(huán)境友好的成膜技術(shù)。

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