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行業(yè)產(chǎn)品

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TGV玻璃晶圓打孔機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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更新時間：2024-07-15 09:17:56瀏覽次數(shù)：188次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：38條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

設(shè)備特點●最小2um直徑超微孔加工●行業(yè)內(nèi)的深徑比1:150●5000孔/秒的超快加工速度●可加工通孔、盲孔、異型孔、單孔、集群陣列孔●微孔真元度高

詳細介紹

設(shè)備特點
●  最小2um直徑超微孔加工

●  行業(yè)內(nèi)的深徑比1:150

●  5000孔/秒的超快加工速度

●  可加工通孔、盲孔、異型孔、單孔、集群陣列孔

●  微孔真元度高，的垂直度

●  孔側(cè)壁光潔度可做到100nm

●  適應(yīng)鈣鈉玻璃，鋁硅玻璃，石英，寶石等透明材質(zhì)



應(yīng)用領(lǐng)域


樣品展示


設(shè)備參數(shù)

項目

技術(shù)參數(shù)

設(shè)備型號

G6000

平臺精度

重復(fù)精度±0.4um，定位精度±1um@20℃±1℃

平臺運行速度

運行速度1000mm/s，速度2000mm/s

平臺運行加速度

運行加速度2G，加速度4G

打孔效率

常規(guī)5000孔/秒，10000孔/秒

孔徑尺寸

2-200um±100nm

內(nèi)壁光潔度

100nm

孔錐度

90±20°，錐度精度±0.2° 

平臺切割范圍

300*300mm

加工玻璃厚度

100um-3mm

徑深比

常規(guī)1：501：150

適應(yīng)產(chǎn)品

玻璃晶圓，微流控芯片，MEMS，5G射頻，傳感器

適應(yīng)材質(zhì)

藍寶石≦0.5mm、玻璃、石英≦1.2mm



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