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TOP-6097P外層半自動(dòng)LED曝光機(jī)

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TOP-6097P自動(dòng)影像對(duì)位曝光機(jī)(內(nèi)、外層適用）
Semi-Automatic Imaging Alignment Exposure Machine( For inner & outer layer )
機(jī) 器技術(shù) 規(guī) 格
Machine Technical Specifications
一	生產(chǎn)規(guī)格 specification	1	電路板尺寸 panel size	min:305mm305mm,max:622mm724mm (12"12"～24.5"28.5" )
		2	電路板厚度 thickness	0.3mm～3.2mm(12mil～128mil含銅厚contains copper）
		3	底片尺寸 a/w size	660mm*762mm (26" ×30" )
		4	板厚公差 thickness tol.	±75um
二	工作臺(tái)面 countertops	5	曝光工作臺(tái)面 exposure countertops	雙框交替作業(yè) double tray alternate
		6	曝光方式 exposure mode
		7	臺(tái)面結(jié)構(gòu) platform structure	玻璃VS玻璃 glass vs glass
		8	臺(tái)面材質(zhì) platform material	光學(xué)鋼化玻璃真空壓力0～650kpa tempered glass, vacuum pressure-650kpa
三	光源系統(tǒng) illuminant	9	光源種類 light	UVLED平行光源 UVLED collimated light
		10	燈管類型 tube	UV-LED燈組 UV-LED tube
		11	燈管數(shù)量 Qty	1組 1group
		12	燈管功率 power	3KW
		13	未透過(guò)玻璃照度 energy	≥30mw/c㎡(LS125能量計(jì))
		14	照度分布均勻性 uniformity	≥88%
		15	平行半角 Parallel half angle	＜2°
		16	傾斜角 Tilt Angle	＜3°
四	對(duì)位系統(tǒng) alignment system	17	CCD數(shù)量 Qty of CCD	4個(gè) 4pcs(4/3/2靶點(diǎn)切換選擇) 4pcs, freedom to choose between the points 4/3/2
		18	CCD移動(dòng)方式 CCD way	自動(dòng)移動(dòng) Automatic
		19	對(duì)位影像檢查 automatic image alignment	自動(dòng)移動(dòng)基板對(duì)位，對(duì)位銷釘孔2.5mm/3.175mm automatic alignment,Pin's dia.2.5mm/3.175mmm
		20	底片固定方式 films fixed way	真空吸附 vacuum adsorption
		21	底片安裝方式 films installation	自動(dòng)移動(dòng)對(duì)準(zhǔn) automatic alignment
五	生產(chǎn)能力 output ablity	22	生產(chǎn)產(chǎn)能(不含清潔時(shí)間) throughput(no including the cleaning time)	2~3片/min,每日24小時(shí)約1800-2200片 2~3pcs/min，about 1800-2200pcs/24H
		23	對(duì)位機(jī)械精度 precision of alignment	±12um
		24	光阻劑類型 resist	內(nèi)層干膜/外層干膜 inner layer dry film/outer layer dry film
		25	顯影后線路解析能力 resolution	50um/50um
六	控制系統(tǒng) controlsystem	26	操作系統(tǒng) operating system	Linux窗口界面 Linux interface
		27	控制硬件 hardware	全系統(tǒng)PC控制 all PC control system
		28	操控界面 interface	15" 液晶觸控屏幕 15" touch screen
		29	操作語(yǔ)言 language	中文/英文 Chinese/English
		30	溫濕度自動(dòng)控制系統(tǒng) Automatic temperature and humidity intelligent complement system	溫濕度自動(dòng)控制系統(tǒng) Automatic temperature and humidity intelligent complement system
七	生產(chǎn)及環(huán)境需求 environmental requirements	31	生產(chǎn)上下板料方式 operation mode	人工取放 manual
		32	生產(chǎn)板料放置需求 board placement requirements	套PIN作業(yè)Cover PIN method
		33	環(huán)境潔凈度 cleanlinese	Class10000
		34	環(huán)境溫度 temperature	20±3℃
		35	環(huán)境濕度 humidity	55%±10%RH
八	機(jī)臺(tái)外型 boundary dimention	36	機(jī)臺(tái)尺寸 size	長(zhǎng)(L)3485mm 寬(W)1560mm 高(H)2400mm
		37	輔助后箱尺寸 auxiliary box's size	(L)1360mm* (W)650mm*（H)1500mm
		38	機(jī)臺(tái)重量 weight	約2200公斤 about 2200kg
		39	外殻材質(zhì) material	不繡鋼 strainless steel
九	接口設(shè)備需求 Auxiliary equipment requirements	40	電力需求 electrical	15KVA/AC380V±5%/50HZ/25A 三相四線 (three-phase & four-wire)
		41	氣壓源需求 air source	6.5kg/cm2 管徑 pipe diameter∮12mm 流量 flux 150～180L/min
		42	冰水需求 cooling water	7-12℃ 管徑 pipe diameter 1" 流量 flux 15L/min
		43	排水 drainage speed	約3L~5L/12H
				因生產(chǎn)設(shè)計(jì)需求，規(guī)格按修改后雙方確認(rèn)為凖
	Due to production requirements, equipment specification according to the both sides' confirmation.

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