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西安凱躍電子科技有限公司
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更新時(shí)間：2023-07-17 08:33:48瀏覽次數(shù)：343次
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等離子清洗機(jī)（GAS PLASMA DRY CLEANERS） 型號(hào)：PDC200/210/510
研究開(kāi)發(fā)用等離子清洗機(jī)
用途：
CSB/BGA/COB基板的等離子處理
有機(jī)膜和金屬氧化膜的除去
印刷電路基板的干洗
界面活性處理
| 型號(hào) | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
| 模式 | RIE模式（DP選配） | DP模式 | DP/RIE切換方式 |
| 電極構(gòu)造 | 平行平板電極（固定） | ||
| 高頻輸出功率 | MAX300W | Max 500W | |
| 頻率 | 13.56MHz | ||
| 控制方式 | 自動(dòng)聯(lián)動(dòng)，液晶觸摸屏控制 | ||
| 反應(yīng)室尺寸 | 400×250×150mm | 500×300×200 | |
| 電極尺寸 | 250×170mm | 400×200mm | |
| 反應(yīng)室材質(zhì) | 一次性一體成型鋁腔（防腐蝕，可對(duì)應(yīng)CF4） | ||
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（Ar/O2） | ||
| 填充氣體 | N2/潔凈干燥空氣 | ||
| 反應(yīng)氣體流量控制 | 流量計(jì) | 聚合控制器 | |
| 真空泵 | 另行選配 | 油回旋真空泵（排氣量345L/min） | 油回旋真空泵（排氣量500L/min） |
| 氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2套，填充氣體1套 | ||
| 外型尺寸 | 540×600×600mm | 540×600×600mm | 700×700×700mm |
| 電源 | 單相AC100V 15A 50/60Hz | 三相AC100V 15A 50/60Hz | |
RIE模式標(biāo)配（DP切換為選購(gòu)）
等離子的均應(yīng)性高操作簡(jiǎn)單的液晶觸摸屏控制面
| 采購(gòu)單位名稱(chēng) | 采購(gòu)時(shí)間 | 采購(gòu)臺(tái)數(shù) | 備注 |
| 瑞聲聲學(xué)科技控股有限公司 | 2006-7-1 | 1 | |
| 東芝大連有限公司 | 2008-7-9 | 1 | |
| 東莞石龍京瓷光學(xué)有限公司 | 2007-9-10 |
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