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深圳市大精拋光設(shè)備有限公司


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硅片研磨拋光機(jī)

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品       牌

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更新時(shí)間：2023-06-01 10:02:35瀏覽次數(shù)：368次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：17條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：王先生 高小姐

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)介紹

高精密硅片研磨機(jī)產(chǎn)品說明：

圓柱硅片拋光機(jī)主要用途：該機(jī)主要適用用各種大尺寸硅片及晶體材料的拋光。

圓柱硅片拋光機(jī)工作原理：本系列硅片拋光機(jī)由四個(gè)吸附盤吸附硅片與拋光盤做逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)來達(dá)到拋光的目的。

圓柱硅片拋光機(jī)，硅片拋光機(jī)特點(diǎn)：

1.本系列拋光機(jī)的吸附盤由四臺(tái)單獨(dú)的電機(jī)驅(qū)動(dòng)、速度與壓力可調(diào)。

2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等*技術(shù)，系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確，并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控，遠(yuǎn)程維護(hù)的功能；

3.本系列拋光機(jī)運(yùn)行平穩(wěn)，拋光后的產(chǎn)品厚度公差可控制在正負(fù)0.002mm范圍內(nèi)，粗糙度可達(dá)到0.0005mm。

圓柱硅片拋光機(jī)設(shè)備規(guī)格：

型   號(hào)

YM-18A

YM-24A

YM-36A

YM-48A

拋光盤規(guī)格

φ460*φ140

φ610*φ200

φ910*φ300

φ1220*φ400

拋光尺寸

φ150mm

φ200mm

φ300mm

φ450mm

拋光后平面度

±0.5u以內(nèi)

±0.7u以內(nèi)

±1u以內(nèi)

±1u以內(nèi)

工件平行度（25mm）

±1u以內(nèi)

±1.5u以內(nèi)

±2u以內(nèi)

±2u以內(nèi)

工件粗糙度

0.4nm以內(nèi)

0.4nm以內(nèi)

0.4nm以內(nèi)

0.4nm以內(nèi)

拋光盤電機(jī)功率

2.2kw 3相380V

3.7kw  3相380V

7.7kw  3相380V

11kw  3相380V

拋光盤轉(zhuǎn)速

0~120rpm

0~100rpm

0~80rpm

0~60rpm

外形尺寸

700*1100*1100mm

950*1200*2200mm

1200*1400*2300mm

1500*1700*2400mm

重量

960kg

1800kg

2600kg

4500kg


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