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半自動CCD檢查5K平行曝光機

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產品型號UVE-HSP5KMC

品       牌

廠商性質其他

所  在  地東莞市

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更新時間:2023-07-03 09:11:52瀏覽次數:364次

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產品簡介

產品詳細介紹詳細參數內容規(guī)格A.一般規(guī)格電力系統(tǒng)AC380V350/60HZ平行光系統(tǒng)光源:Hg-Xe短弧燈

詳細介紹

  • 產品詳細介紹
  • 詳細參數
內容規(guī)格
                             A.一般規(guī)格
電力系統(tǒng)AC380V 3φ 50/60HZ
平行光系統(tǒng)光源:Hg-Xe短弧燈,輸出功率5KW,單燈,雙面曝光
平行半角(CHA)約2°
傾斜角(DA):<2°
均勻度:85%以上
強度:15mw/cm²@ 365 nm在玻璃臺面上量測
有效曝光面積:22'*25"
底片規(guī)格尺寸:24"*27"
Panel規(guī)格尺寸:305*305mm至559*635mm(12"*12"至22"*25")
厚度:0.05mm(不含銅)至2mm
曝光作業(yè)高強度/雙面曝光
對位系統(tǒng)1.CCD數量:2個/4個可選
2.對位方式:上下底片手動對位,CCD自動檢測
3.對準精度:±12.5μm(不含底片漲縮)
4.底片固定:雙溝槽式真空吸附
曝光量設定可程式時間設定曝光;可程式能量設定曝光
操作方式操作系統(tǒng):大型觸控制式熒幕操作介面
機臺尺寸外部尺寸:3390L*1545W*2150+120Hmm      環(huán)控箱:L1300*W700*H1930
                             B.系統(tǒng)架構
曝光臺框雙曝光臺面,玻璃VS玻璃
冷卻曝光室:氣冷,抽取室內空氣加溫度控制經HEPA吹入曝光室
燈室:氣冷(內循環(huán))
潔凈控制潔凈度等級:Class 1000 HEPA 過濾網
UV光源監(jiān)控
光源保護:UV燈源點燈/熄燈/重點燈保護
功率控制:D/A轉換瓦數微調輸出       狀態(tài)監(jiān)視:內建電壓、電流、功率及UV強度感測器
遮光器:橫向開啟,裝置于燈室 內,由無桿缸帶動
曝光監(jiān)控:內建UV能量積算器
客戶周邊配合1.電力NFB40A
2.氣壓源:5kg/cm²以上    3.冰水系統(tǒng):7-11℃  40L/min,1"管徑*2,1/2" 管徑*1
備注1.不銹鋼外殼 2.氣動遮光門

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