內容 | 規(guī)格 |
A.一般規(guī)格 |
電力系統(tǒng) | AC380V 3φ 50/60HZ |
平行光系統(tǒng) | 光源:Hg-Xe短弧燈,輸出功率5KW,單燈,雙面曝光 |
平行半角(CHA)約2° |
傾斜角(DA):<2° |
均勻度:85%以上 |
強度:15mw/cm²@ 365 nm在玻璃臺面上量測 |
有效曝光面積:22'*25" |
底片規(guī)格 | 尺寸:24"*27" |
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Panel規(guī)格 | 尺寸:305*305mm至559*635mm(12"*12"至22"*25") |
厚度:0.05mm(不含銅)至2mm |
曝光作業(yè) | 高強度/雙面曝光 |
對位系統(tǒng) | 1.CCD數量:2個/4個可選 |
2.對位方式:上下底片手動對位,CCD自動檢測 |
3.對準精度:±12.5μm(不含底片漲縮) |
4.底片固定:雙溝槽式真空吸附 |
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曝光量設定 | 可程式時間設定曝光;可程式能量設定曝光 |
操作方式 | 操作系統(tǒng):大型觸控制式熒幕操作介面 |
機臺尺寸 | 外部尺寸:3390L*1545W*2150+120Hmm 環(huán)控箱:L1300*W700*H1930 |
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B.系統(tǒng)架構 |
曝光臺框 | 雙曝光臺面,玻璃VS玻璃 |
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冷卻 | 曝光室:氣冷,抽取室內空氣加溫度控制經HEPA吹入曝光室 |
燈室:氣冷(內循環(huán)) |
潔凈控制 | 潔凈度等級:Class 1000 HEPA 過濾網 |
UV光源監(jiān)控 |
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光源保護:UV燈源點燈/熄燈/重點燈保護 |
功率控制:D/A轉換瓦數微調輸出 狀態(tài)監(jiān)視:內建電壓、電流、功率及UV強度感測器 |
遮光器:橫向開啟,裝置于燈室 內,由無桿缸帶動 |
曝光監(jiān)控:內建UV能量積算器 |
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客戶周邊配合 | 1.電力NFB40A |
2.氣壓源:5kg/cm²以上 3.冰水系統(tǒng):7-11℃ 40L/min,1"管徑*2,1/2" 管徑*1 |
備注 | 1.不銹鋼外殼 2.氣動遮光門 |