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安捷來國際股份（香港）有限公司


日本YAMATO在線式等離子清洗機ISP500

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產(chǎn)品型號ISP500

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更新時間：2023-08-26 08:46:46瀏覽次數(shù)：399次

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產(chǎn)品簡介

詳細(xì)介紹

日本YAMATO在線式等離子清洗機ISP500:

Plasma Apparatus
ISP500Series
Plasma Model
RIE/DP
RIE : Reactive Ion Etching
DP : Direct Plasma
RF Generator
10 to 500W
OscillatingFrequency
13.56MHz
Chamber Size (mm)
344W×230D×45H

In-Line and Stａnd Alone Type (Strip to Strip process)

Outline
Two lead frame(strip)vertical or parallel loading function. Pull out two stripfromMagazine--Loading two strip into the chamber--Plasumacleaningprocess--Unloading two strip from chamber--Strip goes tomagazineor next process to direct.
Total system controlled by PLC controller. LCD touch paneldisplayａnd operation. Lead frame (strip) size--Up to 25 to80(W)×100 to250(L)×0.2 to 2.5(t)mm also. We can provide CustomizedIn-Lineplasma.

Feature

  • Special electrode built inforgetting good plasma efficient.
  • RIE/DP mode selectable
  • RF power up to 500W
  • All automatic operation
  • LCD touch panel andPLCcontrol
  • Any chamber sizeareavailable for customer's Lead frameorstrip.
ISP500 Series


Specifications
Model ISP500 series
Plasmamethod RIE/DPmode
RFgenerator 10 to 500W
Oscillation frequency 13.56MHz
Controlsystem LCD touchpanelwith PLC
Tuningmethod Automatictuning
Chambersize 344(W)×230(D)×45(H)mm
Electrodesize 250(W)×180(D)mm
Gassystem Mass flowcontrol2 line

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