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安捷來國際股份（香港）有限公司


日本YAMATO等離子清洗機IV600

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產品型號IV600

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更新時間：2023-08-21 08:23:25瀏覽次數(shù)：351次

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產品簡介

詳細介紹

日本YAMATO等離子清洗機IV600:

IV600(Magazineto Magazine process)
MagazinetoMagazineplasma process

Specifications

Model IV600
Plasmamethod RIE
Electrodestructure ForMagazinecorrespondence electrode structure
RFgenerator 100-600W
Oscillatingfrequency 13.56MHz
Controlsystem LCDtouchpanelwith PLC
Chambersize (W)230×(D)400×(H)200mm
Chambermaterial Aluminum
Reactiongas O2,Ar
Purge gas N2orDryair
Flow meter Mass flowcontrol2line
Vacuumpump 1000L/min
Gas system 2line(Reactiongas) , 1 line (Purge gas)
Externaldimension (W)1,000×(D)900×(H)970mm
Powersupply AC200/220/380V3phase 10A


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