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深圳市啟誠(chéng)儀器設(shè)備有限公司


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掃描電子顯微鏡廠家

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SS-60系列掃描電子顯微鏡一、產(chǎn)品命名規(guī)則：SS-60系列產(chǎn)品作為基礎(chǔ)款臺(tái)式掃描電鏡

詳細(xì)介紹

SS-60系列掃描電子顯微鏡


一、產(chǎn)品命名規(guī)則：

SS-60系列產(chǎn)品作為基礎(chǔ)款臺(tái)式掃描電鏡，能 大部分用戶的基本實(shí)驗(yàn)需求，配置SE二次電子探測(cè)器與BSE背散射電子探測(cè)器，載物平臺(tái)可配置三軸（X,Y,R）手動(dòng)平臺(tái)，也可升級(jí)為五軸（X,Y,R,Z,T）自動(dòng)平臺(tái)，全系列產(chǎn)品均可配置EDS能譜分析儀，產(chǎn)品包括如下配置：


Item

Model

With Detector Option

WithStage Option

Mini-SEM

SS-60

SS-60S

SS-60S-MS

SS-60D

SS-60D-MS

SS-60D-ST

二、簡(jiǎn)單說(shuō)明：(Description)

（1） 放大倍率6萬(wàn)倍（Magnification Max 60,000x）

（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測(cè)器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）

（3）1kV~30kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）

（4）通過(guò)選配EDS可進(jìn)行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）

（5）高真空配置（High Vacuum System）

（6）Tilt（0~45）載物臺(tái)配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）

三、 技術(shù)參數(shù)：(Product specifications)

分辨率（Resolution）

15nm (30kV, SE Image)

20nm (30kV, BSE Image)

放大倍率（Magnification）

30x~60,000x

加速電壓（Accelerating Voltage）

1kV to 30kV (1kV/5kV/10kV/15kV/20kV/30kV-6step)

圖像檢測(cè)

（Signal Detection）`

二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射電子圖像 (BSEI)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SEI+BSEI)

觀察模式 Observation mode

Standard Mode

Charge-up reduction mode

電子槍系統(tǒng)（Electron Gun）

燈絲類型（Filament type）

預(yù)對(duì)中鎢燈絲（Pre CenteredtungstenfilamentCartridge）

偏壓系統(tǒng)（Bias voltage system）

自動(dòng)偏壓方式（Automatic mode）

電子槍校正

（Electron gunalignment）

手動(dòng)方式（Manual mode）

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