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行業(yè)產(chǎn)品

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大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司


激光剝離機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)LL06156(DPSS)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

主要特點(diǎn):設(shè)備特點(diǎn):1、線形光斑的激光整形技術(shù),實(shí)現(xiàn)在不同尺寸加工樣品上的剝離操作2、氣浮式的工作臺(tái)實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸無(wú)摩擦的加工形式,避免產(chǎn)生粉塵顆粒,保證裝備內(nèi)部的潔凈度3、高精度、大尺寸、雙工位的stage設(shè)計(jì),可有效提高生產(chǎn)效率4、panel載臺(tái)吸附設(shè)計(jì)

詳細(xì)介紹



主要特點(diǎn):

設(shè)備特點(diǎn):

1、線形光斑的激光整形技術(shù),實(shí)現(xiàn)在不同尺寸加工樣品上的剝離操作 

2、氣浮式的工作臺(tái)實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸無(wú)摩擦的加工形式,避免產(chǎn)生粉塵顆粒,保證裝備內(nèi)部的潔凈度

3、高精度、大尺寸、雙工位的stage設(shè)計(jì),可有效提高生產(chǎn)效率 

4、panel載臺(tái)吸附設(shè)計(jì)。激光設(shè)備的物料載臺(tái)的真空吸附部分,采用了分區(qū)域加時(shí)間延遲的設(shè)計(jì),先吸附中間部分,再逐次往外圍吸附,保證帶柔性膜的panel可以無(wú)皺褶高效吸附 



主要參數(shù):


主要參數(shù)加工尺寸1"-8"
加工速度180mm/s
加工精度0.1μm
平臺(tái)參數(shù)1)移動(dòng)精度
X 軸: 0.1μm
Y 軸: 0.1μm
Z 軸: 1μm
Theta 軸: 0.2°
2)定位精度
X 軸: ≤±4μm
Y 軸: ≤±4μm
Z 軸: ≤±5μm
Theta 軸: 0.1°
激光器參數(shù)1)激光器波長(zhǎng): 308nm
2)激光能量: ≥600W
3)激光脈沖功率: 1000mJ
4)總頻率: 600 Hz
5)脈沖寬度: 24±4ns
6)脈沖穩(wěn)定性: ≤1%
工藝方式DPSS激光剝離
制程類(lèi)型激光剝離
Tact time1":4.5s
8":6s
稼動(dòng)率0.9



加工效果:


      


   



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