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沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司
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更新時(shí)間：2023-04-12 09:41:01瀏覽次數(shù)：774次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 包裝印刷網(wǎng)KS-C300涂膠顯影機(jī)可用于封裝、 MEMS、OLED等領(lǐng)域的涂覆顯影制程，每小時(shí)可加工180片晶片，同時(shí)產(chǎn)品可兼容不同材質(zhì)的晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物等。產(chǎn)品可應(yīng)用于邏輯類(lèi)、存儲(chǔ)類(lèi)芯片、攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED制造等領(lǐng)域。國(guó)產(chǎn)化集成電路設(shè)備的成功應(yīng)用為客戶(hù)節(jié)約了大量成本。產(chǎn)品通過(guò)SEMI S2認(rèn)證。
1.適合超薄晶圓處理，超厚膠涂敷、顯影、烘焙工藝
2.涂膠單元特殊設(shè)計(jì)，避免高黏度膠離心涂敷時(shí)產(chǎn)生的“棉花糖"現(xiàn)象
3.機(jī)臺(tái)為全封閉模塊化結(jié)構(gòu)，工藝單元靈活選配
4.占地面積小，產(chǎn)能高
5.工藝上可實(shí)現(xiàn)5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工，熱板采用漸進(jìn)式烘焙
6.可滿(mǎn)足工廠(chǎng)自動(dòng)化需求，無(wú)人值守
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