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三河建華高科有限責(zé)任公司
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更新時(shí)間：2023-06-21 09:06:59瀏覽次數(shù)：406次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 包裝印刷網(wǎng)該設(shè)備為全自動(dòng)曝光設(shè)備，主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對(duì)準(zhǔn)及曝光
該設(shè)備為全自動(dòng)曝光設(shè)備，主要用于中小規(guī)模集成電路和半導(dǎo)體元器件制造工藝中的對(duì)準(zhǔn)及曝光。本產(chǎn)品自動(dòng)完成基片的傳輸、對(duì)準(zhǔn)與曝光工藝，操作方便、生產(chǎn)效率高、穩(wěn)定性高。
主要技術(shù)特點(diǎn)
對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)
雙工位工作臺(tái)由X、Y、θ、Z向四維精密電機(jī)機(jī)構(gòu)組成，可實(shí)現(xiàn)間隙找平與曝光，在接觸模式可實(shí)現(xiàn)真空復(fù)印，板架有防掩摸版脫落機(jī)構(gòu)。
傳輸系統(tǒng)
傳輸系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了上片盒、預(yù)對(duì)準(zhǔn)、對(duì)準(zhǔn)工作臺(tái)、收片盒四個(gè)工位二維并行傳輸，限度減少了傳輸?shù)臅r(shí)間，提高了整機(jī)工作效率。
預(yù)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
預(yù)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)采用機(jī)械式錐桶定心，使得預(yù)對(duì)準(zhǔn)定心更方便和可靠。
控制系統(tǒng)
采用工業(yè)計(jì)算機(jī)總線系統(tǒng)，人機(jī)交互界面簡(jiǎn)潔直觀，操作方便,同時(shí)提供個(gè)性化服務(wù)。
主要技術(shù)指標(biāo)
| 性能名稱 | 技術(shù)指標(biāo) | |||
| 基片尺寸 | φ100mm | |||
| 掩模尺寸 | 125mm×125mm | |||
| 曝光范圍（紫外光源） | φ110mm | |||
| 硅片或襯底厚度 | 0.2～1.1mm | |||
| 生產(chǎn)效率 | 260片/小時(shí)（一次曝光，曝光時(shí)間3s） | |||
| 工作臺(tái) | X向、Y向行程 | ±5mm | ||
| Z行程 | 28mm | |||
| θ向 | ±5° | |||
| 對(duì)準(zhǔn)精度 | 5μm | |||
| 曝光系統(tǒng) | 曝光分辨率 | 2μm（接觸曝光，正膠膠厚1um） | ||
| 不均勻性 | ±3% | |||
| 光強(qiáng)（1000W汞燈） | ≥40mW/cm2 | |||
| 對(duì)準(zhǔn) 顯微鏡 | 總放大倍率：160× | 物鏡3× | ||
| 物鏡分離量 | 60～110 mm | |||
| 預(yù)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡 | 掃正倍率：50× | 物鏡1× | ||
| 掃正物鏡 | 固定 | |||
| 尋邊倍率：160× | 物鏡3× | |||
| 尋邊物鏡分離量 | 0～10mm | |||
| 外形尺寸 | 1500mm×2200mm×2000mm | |||
| 重量 | 1500kg | |||
| 整機(jī)功率 | 2000W | |||
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