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在線式真空等離子清洗機 VPC3i

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真空等離子清洗機

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產(chǎn)品簡介

型號：電路板面積： (mm) 理論速度： (cph) 重復精度： (mm) 喂料器數(shù)量：可貼元器件：

詳細介紹

一、設(shè)備名稱、式號、原產(chǎn)地、交貨期
1.1 設(shè)備名稱：在線式真空等離子清洗機
1.2 式號：VPC3i
1.3 原產(chǎn)地(國別、廠家)：北京中科中科同志股份有限公司
1.4 交貨期：合同生效后4-8周
1.5 主要用于硅晶圓、玻璃基板、陶瓷基板、IC載板、銅引線框架、大尺寸單面基板電源板、IGBT模塊、帶治具的MEMS傳感器、微波器件、濾波器、射頻器件等半導體封裝領(lǐng)域的等離子表面處理工藝。
二、設(shè)備主要技術(shù)性能指標：
2.1 真空腔體體積：3L
2.2 真空度：
VPC3i真空等離子清洗機真空度小于10 Pa（機械干泵 8L）
2.3 有效清洗面積：
單次清洗面積：350*100*85mm
等離子體頻率：13.56HZ 300W 射頻（體積處理，帶水冷）
2.4 真空腔室高度：
爐膛高度100mm（有效尺寸）
2.5 清洗溫度：
低溫清洗（低于室溫）。
2.6 清洗節(jié)拍:30-120S
2.7 清洗效果:達因值可達到70.水滴角15度，可控制到10以內(nèi)（百級無塵4小時以內(nèi)）
2.8 氣體環(huán)境：
氬氣、氮氣、氧氣、氮氫混合氣體、氫氣、甲酸都支持。
2.9 VPC3i真空等離子清洗機配置軟件控制系統(tǒng)：
軟件控制系統(tǒng)，操作簡單，能接控制設(shè)備及設(shè)定各種清洗工藝曲線，并根據(jù)工藝不同進行設(shè)定、修改、存儲、調(diào)用；軟件自帶分析功能，能對工藝曲線進行分析。軟件控制系統(tǒng)自動的實時記錄清洗工藝及溫度曲線、時間、報警相關(guān)數(shù)據(jù)，保證產(chǎn)品清洗工藝的可追溯性。
2.10 設(shè)備無需校正，不會產(chǎn)生多余的校證費用
2.11 操作功耗：2.2KW，不含冷水機功耗
2.12 具有超溫報警及記錄功能。（標配）
VPC3i真空等離子清洗機具有清洗過程工件表面超溫保護及報警功能、整機溫度安全保護功能及記錄功能。
2.13 具有氮氣、氬氣等流量管理及分析系統(tǒng)（軟件+硬件）。（選配）
VPC3i真空等離子清洗機具有整機消耗氮氣、氬氣等工藝氣體的實時管理及分析功能，可以實時分析氣體使用量、日使用量、周使用量、時間段使用量等記錄和分析功能。
2.14 具有工藝氣體壓力報警功能和分析系統(tǒng)（軟件+硬件）。（選配）
VPC3i式真空等離子清洗機具有整機生產(chǎn)過程中工藝氣體氣源欠壓報警及記錄和分析功能，對產(chǎn)品質(zhì)量追溯超有用。
2.15 具有能源管理及分析系統(tǒng)（軟件+硬件）。（選配）
VPC3i式真空等離子清洗機具有能源消耗實時管理及分析功能，可以分析實時耗電量、日耗電量、周耗電量、時間段耗電量等記錄和分析功能。
2.16 具有氧含量管理及分析系統(tǒng)（軟件+硬件）。（選配）
VPC3i式真空等離子清洗機具有整機真空室內(nèi)氧氣含量實時管理及分析功能，可以實時分析氧含量PPM值并記錄和分析，用于產(chǎn)品質(zhì)量追溯和分析。
2.17 具有MES數(shù)據(jù)接口子系統(tǒng)（軟件+硬件）。（選配）
VPC3i式真空等離子清洗機具有整機MES數(shù)據(jù)接口功能，可以選配并配置MES系統(tǒng)，完成智能設(shè)備的各種數(shù)據(jù)采集及分析。
2.18 設(shè)備外形尺寸：
550*1260*1480mm（不包括警燈）
2.19 設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)：見右圖

三、設(shè)備基本構(gòu)成和配置：

編號	名稱	配置	數(shù)量
1	真空等離子清洗機	主機	1臺
2	等離子體電源系統(tǒng)	標配	1套
3	測溫系統(tǒng)	標配（4組測溫熱電偶）	1套
4	真空系統(tǒng)	標配	1套
5	機械泵	標配	1套
6	水冷系統(tǒng)	標配（不含工業(yè)水冷機）	1套
7	工業(yè)冷水機	選配	1套
8	甲酸工藝系統(tǒng)	標配（甲酸罐體、氣路管道及接口）	1套
9	氮氣氣氛保護系統(tǒng)	標配（不包括氮氣氣源供應(yīng)）	1套
10	真空等離子清洗機軟件系統(tǒng)	標配(控制軟件)	1套
11	工業(yè)計算機	標配	1套
12	等離子體	標配	1支
13	測溫傳感器（備件）	標配	2根
14	冷卻氣管（備件）	標配	2根
15	工藝氣體流量管理及分析系統(tǒng)	選配	1套
16	工藝氣體壓力報警功能和分析系統(tǒng)	選配	1套
17	能源管理及分析系統(tǒng)	選配	1套
18	氧含量管理及分析系統(tǒng)	選配	1套
19	MES數(shù)據(jù)接口系統(tǒng)	選配

四、VPC3i技術(shù)參數(shù)表

品牌	設(shè)備廠商	北京中科中科同志股份有限公司 TORCH	備注
簡介	產(chǎn) 地	北京
關(guān)鍵配件	溫度傳感器	美國歐米伽
	真空泵	科儀/鮑絲
	截止閥	日本進口
	耐蝕閥	日本進口
	低壓電器	法國施耐德
	按鈕開關(guān)	中國臺灣久晨/法國施耐德
	光電傳感器	日本歐姆龍
	等離子體電源	TORCH
關(guān)鍵技術(shù)指標	溫度參數(shù)	低溫清洗，保持在室溫清洗
	真空度	10pa
	氧含量	<1ppm
	生產(chǎn)效率	20-120S
工藝關(guān)鍵指標	質(zhì)量追溯	1、工藝氣體壓力報警記錄。2、氧含量報警記錄。3、溫度超溫報警記錄。4、真空值不達標報警記錄
工藝關(guān)鍵指標	設(shè)備智能化信息化	1、設(shè)備具備智能化功能，以上四項指標有一項不達標或者報警，設(shè)備就整體報警，并提示停止生產(chǎn)。確保產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量。2、設(shè)備具備能源管理系統(tǒng)，耗電量和消耗氮氣的量，在能源管理系統(tǒng)實時統(tǒng)計并顯示。3、以上所有信息都可以通過設(shè)備數(shù)據(jù)接口無縫對接MES系統(tǒng)，方便管理人員決策管理。
廠務(wù)條件	電	380VAC，20A
	氣	壓縮空氣（CDA）0.5Mpa
	氮氣	0.5Mpa
	真空	設(shè)備配置真空干泵