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BCG450 大氣壓至超高真空三合一真空計

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英?？担◤V州）真空儀器有限公司

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產品簡介

詳細介紹

好處

BCG450 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空測量儀器的安裝與設置的復雜性
壓力超過 10 Torr 時壓力測量不受氣體類型限制，可以為任何氣體混合物提供更為可靠的預抽真空室控制
皮拉尼聯(lián)鎖保護絲極，防止過早燒毀
高真空皮拉尼自動調節(jié)，減少操作員的干預
大氣氣壓下壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定性
傳感元件帶有板載校準數(shù)據(jù)，易于更換，可保證再現(xiàn)性
備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
符合 RoHS 標準

典型應用

對半導體過程和預抽真空室的壓力測量
工業(yè)鍍膜
在低至超高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制

新聞

新！現(xiàn)在提供 ProfiNET 數(shù)字接口！

規(guī)格

類型		BCG450
測量范圍		5×10^-10 … 1500
精度
10^-8 … 50 毫巴	% of reading	±15
50 … 950 毫巴	% of reading	±5
950 … 1050 毫巴	% of reading	±2.5
可重復性
10^-8 … 10^-2 毫巴	% of reading	5
熱離子發(fā)射	mbar	2×10^-2 (high)
（可選高/低，通過 RS232 / 現(xiàn)場總線）	mbar	8×10^-3 (low)
除氣 (1)
p < 7.2="" ×="">^-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
壓力，	bar (absolute)	5
溫度
運行（環(huán)境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤	°C	80
移除烘烤電子設備	°C	150
電源電壓		20 … 28
輸出信號模擬
輸出信號	V	0 … 10.3
測量范圍輸出	V	0.774 … 10.3
電壓與壓強之間的關系	volts per decade	0.75
錯誤信號	V	0.3 / 0.5
最小負載	k?	10
接口（數(shù)字）(2)		RS232C
連接器		D-Sub, 15-pin, male
電纜長度， (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt₂O₃, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI₂O₃, SnAg, stainless steel, glass
內部容積 KF / CF	cm³ (in.³)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	285 / 550
保護等級		IP30
DeviceNet™
協(xié)議		DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
電纜長度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
電纜長度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網(wǎng)絡規(guī)模		up to 64 nodes per segment
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器		LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術規(guī)格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設備類型		''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊		polling only
設定點繼電器：設定點數(shù)量		2
設定點繼電器：范圍	mbar	1×10^-9 … 1400
設定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設定點繼電器：滯后	% of reading	10
設定點繼電器：觸點額定值		60
設定點繼電器：連接器		D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™ 電源電壓		11 … 25
真空計電源電壓		20 … 28
DeviceNet™ 連接器		Microstyle, 5-pin
BCG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設定點繼電器：設定點數(shù)量		2
設定點繼電器：范圍	mbar	1×10^-9 … 1400
設定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設定點繼電器：滯后	% of reading	10
設定點繼電器：觸點額定值		60
Profibus DP 連接器		D-Sub, 9-pin, female
BCG（模擬輸出、電源電壓、設定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
以太網(wǎng)
以太網(wǎng)協(xié)議		protocol specialized for EtherCAT
通訊標準		ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP)ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
節(jié)點地址		Explicit Device Identification
物理層		100BASE-Tx (IEEE 802.3)
以太網(wǎng)數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
過程數(shù)據(jù)		Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE)		SDO requests, responses and information
以太網(wǎng)連接件		RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜		shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長度	m (ft.)	≤100 (330)
Profinet
Communication protocol		protocol specalized for Profinet
Data rate		100 Mbps
Physical layer		100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digital functions Profinet		read pressure, select Units (Torr, mbar, Pa), emisson control, degas function, monitor gauge status, filament status
Analog function		10 … 10 V anlog output pressure indication
Profinet connector		2 x RJ45, 8-pin (socket), input & output
Profinet Cable		Special Ethernet Patch Cable or Crossover Cable, shielded (CAT5e quality or higher)
Cable lenght		<100 m (330 ft)
Cyclic data		IO-data
Mailbox (CoE) Profinet		configuration, responses and information

1）除氣期間準確性降低

2）不可同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場總線

3）RS232C 操作 <>

零件號

BCG450
零件號	明細
353-550	BCG450 規(guī)管
353-551	BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-552	BCG450 規(guī)管
353-553	BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-554	BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-556	BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R
353-557	BCG450-SD TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-558	BCG450-SD TripleGauge; DN 40 CF-R.
353-592	BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593	BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-598	BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599	BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-517	BCG450-PN Profinet, DN 25 ISO-KF
353-518	BCG450-PN Profinet, DN 40 CF-R
354-492	BCG450 傳感器
354-493	BCG450 Spare measurement systemDN40CF-R.
353-606	BCG450 TripleGauge; W, DN 40 CF-R