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HPG400 大氣壓到高真空真空計

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更新時間：2023-04-18 16:04:14瀏覽次數(shù)：344次

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產(chǎn)品簡介

詳細介紹

好處

HPG400 可節(jié)省成本和工具空間，降低真空系統(tǒng)的安裝與設(shè)置的復雜性
高壓熱電離可以準確可靠地測量 1 X 10^-5 至 1 mbar 范圍內(nèi)的壓力，進而改善過程控制
用戶可選的熱電離發(fā)射在 5 X 10^-2 至 1 mbar 之間啟動
皮拉尼聯(lián)鎖保護絲極，防止過早燒毀
備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員的干預
符合 RoHS 標準

典型應用

半導體制造、電子工業(yè)和媒體工業(yè)中的濺鍍應用
工業(yè)鍍膜
低真空至高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

規(guī)格

類型		HPG400
測量范圍（空氣，N₂）		2×10^-6 … 1000
精度
10^-5 … 1 毫巴	% of reading	±15 ⁽¹⁾
可重復性
10^-5 … 10^-1 毫巴	% of reading	2
10^-1 … 100 毫巴	% of reading	30
熱離子發(fā)射，可選：
選購件 1	mbar	1
選購件 2	mbar	5×10^-1
選購件 3	mbar	2×10^-1
選購件 4	mbar	1×10^-1
選購件 5	mbar	5×10^-2
壓力，	bar (absolute)	2
溫度
運行（環(huán)境）	°C	0 … +50
貯存	°C	-20 … +70
在法蘭處烘烤	°C	80
移除烘烤電子設(shè)備	°C	150
電源電壓		20 … 28
輸出信號模擬
輸出信號	V	0 … +10.2
測量范圍熱陰極	V	1.5 … 7.5
測量范圍皮拉尼	V	8.5 … 9.75
電壓比壓強熱陰極	volts per decade	1
電壓與壓強皮拉尼	volts per decade	0.25
錯誤信號熱陰極	V	0.3
錯誤信號皮拉尼	V	0.5
最小負載電阻	k?	10
接口（數(shù)字）(2)		RS232C
電氣連接		D-Sub, 15-pin, male
電纜長度， (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF	cm³ (in.³)	20 (1.2) / 30 (1.8)
重量 KF / CF	g	430 / 695
保護等級		IP30
DeviceNet™
協(xié)議		DeviceNet™, group 2 slave only
數(shù)據(jù)率開關(guān)	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
電纜長度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)
電纜長度 250 kbps	m (ft.)	250 (825)
電纜長度 500 kbps	m (ft.)	100 (330)
MAC ID		2 switches (address 00 - 63) or network programmable
網(wǎng)絡規(guī)模		up to 64 nodes per segment
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
可視通信指示器		LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
技術(shù)規(guī)格		DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
設(shè)備類型		''CG'' for combination gauge
I / O 從屬傳訊		polling only
設(shè)定點繼電器：設(shè)定點數(shù)量		2
設(shè)定點繼電器：范圍	mbar	2×10^-6 … 100
設(shè)定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設(shè)定點繼電器：滯后	% of reading	10
設(shè)定點繼電器：觸點額定值		60
DeviceNet™ 電源電壓		11 … 25
真空計電源電壓	V (dc)	20 … 28
DeviceNet™ 連接器		Microstyle, 5-pin
HPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
數(shù)字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模擬功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
設(shè)定點繼電器：設(shè)定點數(shù)量		2
設(shè)定點繼電器：范圍	mbar	2×10^-6 … 100
設(shè)定點繼電器：繼電器觸點		n.o., potential free
設(shè)定點繼電器：滯后	% of reading	10
設(shè)定點繼電器：觸點額定值		60
Profibus DP 連接器		D-Sub, 9-pin, female
HPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器		D-Sub, 15-pin, male

(1) 準確度為 10^-5 mbar 至激發(fā)所選熱電離輻射的值

(2）不可同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場總線

(3) 用于 <30m 的 RS232C 運行

零件號

HPG400
零件號	明細
353-520	皮拉尼真空計
354-486	HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
353-521	HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-522	HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-523	HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-525	HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-526	HPG400-SP PBus，DN 40 CF-F
353-527	HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-528	HPG400-SD DNet DN 40 CF-F