芯明天壓電陶瓷促動器宏微復(fù)合機構(gòu)

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更新時間：2023-02-08 14:38:05瀏覽次數(shù)：312次

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  壓電陶瓷促動器系列

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哈爾濱芯明天科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

芯明天壓電陶瓷促動器宏微復(fù)合機構(gòu) P83系列壓電驅(qū)動測微頭是將標準的測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結(jié)合，通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm，再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)，

詳細介紹

芯明天壓電陶瓷促動器宏微復(fù)合機構(gòu)P83系列壓電驅(qū)動測微頭是將標準的測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結(jié)合，通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實現(xiàn)13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm，再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)，壓電陶瓷行程范圍可達20μm,壓電陶瓷運動的分辨率可＜1nm，這個壓電驅(qū)動測微頭可以對元件進行大行程、高精度定位。

芯明天壓電陶瓷促動器宏微復(fù)合機構(gòu)P84系列壓電驅(qū)動測微頭是將測微頭與高分辨率的壓電陶瓷結(jié)構(gòu)相結(jié)合，通過手動調(diào)節(jié)測微頭實現(xiàn)大范圍的位移, 再通過控制驅(qū)動電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭的精調(diào)節(jié)，壓電陶瓷行程范圍可達110μm, 壓電陶瓷運動的分辨率達2.5nm，測微頭的分辨率是10μm，整體結(jié)構(gòu)可以對元件進行大行程、高精度定位。

技術(shù)參數(shù)

型號	P84.X100S P84.X100K	P83.X25S P83.X25K	單位
運動自由度	X	X
傳感器類型	SGS	SGS
標稱行程范圍（0 ~+120 V）	80	20	µm±20%
zui大行程范圍（-20 ~+150 V）	110	28	µm±20%
測微頭行程	13	13	mm
分辨率	7，2.5	1.5，0.5	nm
測微頭分辨率	10	10	um
閉環(huán)線性度	0.15	0.2	%F.S.
重復(fù)定位精度	0.05	0.1	%F.S.
推/拉力	16，4	20，5	N
剛度	1	2	N/mm±20%
靜電容量	1.8	1.8	μF±20%
材質(zhì)	鋼、鋁	鋼
重量	0.1	0.1	Kg±5%
出線長	1.5	1.5	m±10mm

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