系統(tǒng)參數：

◆原理: 非接觸、三維白光掃描干涉儀 

◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷，高線性電容傳感器 

◆視場:標準配置：0.04-16mm，跟物鏡和放大倍率有關,運用圖像拼接技術可以得到更大范圍 

◆光源: 均勻成像，高效率，特殊設計長壽命白光LED

◆物鏡座標配:可快速裝卸單物鏡夾具 

◆控制 :濾光板托架，視場光闌（輔助聚焦） 

◆測量陣列:標配1024×1024 像素；可選分辨率：512×512 

◆樣件觀察: 專用液晶顯示屏實時觀察 

◆精密聚焦 :電控手動和自動聚焦 

◆Z 軸驅動:直流無刷微步進電機驅動，100mm 行程,0.1μm 精度 

◆尺寸:系統(tǒng)尺寸：151×73×61cm ，NewView：81×58×41cm 

◆重量 :系統(tǒng)重量：約229Kg 

◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz 

◆計算機: 帶液晶顯示器的高性能DELL 計算機 

◆軟件:ZYGO MX軟件 

◆物鏡座: 標配，可快速裝卸單物鏡夾具 

◆物鏡：1X，2X，2.75X，5.5X，10X，20X，50X，100X。

◆塔臺:手動6位塔臺；電控 64位塔臺； 

◆樣品臺:手動/俯仰/傾斜(±4°)和XY 平移(100mm)和電動/俯仰/傾斜(±4°)和XY 平移(100mm)電動可選

◆縱向掃描范圍:150μm，拓展掃描模式可到20mm,

◆縱向分辨率 ＜0.1nm,橫向分辨率 0.34μm（100X物鏡下） 

◆掃描速度 ≤34μm/sec,與所選的CCD 和掃描模式有關 

◆大數據點: 標準307200；可選984064； 

◆RMS 重復性 ＜0.01 nm， RMSσ 

◆臺階測量 準確度： ≤ 0.8% ;重復性≤ 0.1% @ 1σ 

◆測樣品特性:各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射 

◆反射率: 0.5-99%

◆大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長);