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上海彼愛姆光學儀器制造有限公司


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工業(yè)檢測顯微鏡BM-54XBD(三目)

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產(chǎn)品簡介

工業(yè)檢測顯微鏡BM-54XBD(三目)一、用途BM-54XBD工業(yè)檢測顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗物鏡、大視野目鏡、圖像清晰、襯度好

詳細介紹


工業(yè)檢測顯微鏡BM-54XBD(三目)

一、用途

BM-54XBD工業(yè)檢測顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗物鏡、大視野目鏡、圖像清晰、襯度好。是針對半導體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)開發(fā)的,作為**工業(yè)顯微鏡使用??蛇M行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。


二、特點

1、采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)

2、拓展了物鏡的復用技術(shù),無限遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量

3、采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度

4、WF10X(Φ25mm)超大視野目鏡,長工作距離明暗場金相物鏡

5、可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器

三、技術(shù)規(guī)格

1、目鏡:

類 別放 大 倍 數(shù)目視場直徑(mm)
超寬視場
平場目鏡
10XΦ25
目鏡
(帶0.1mm十字分劃板)
10XΦ20

2、物鏡:

類 別放大倍數(shù)數(shù)值孔徑N.A(mm)系 統(tǒng)工作距離(mm)
平場無限遠
長工作距離
明暗場物鏡
5X0.1029.4
10X0.2516.0
20X0.4010.6
40X0.605.40

3、顯微鏡的總放大倍率:

物 鏡目 鏡鏡筒系數(shù)總放大倍數(shù)
5X10X1X50X
10X100X
20X200X
40X400X

4、觀察頭:30°鉸鏈式三目

5、轉(zhuǎn)換器:帶DIC 插孔明暗場五孔轉(zhuǎn)換器

6、瞳距:50-75 mm

7、雙層移動平臺:平臺尺寸:350×310 mm;移動范圍:250×250 mm

8、濾色片:插板式濾色片(綠、藍、中性)

9、調(diào)焦機構(gòu):粗微動同軸調(diào)焦,采用鹵輪鹵條傳動機構(gòu);微動格值0.002mm

10、偏光裝置:檢偏鏡可360°轉(zhuǎn)動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路

11、檢測工具:0.01 mm測微尺

12、光源: 落射照明:帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V100W,AC85V-230V,亮



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