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首昂光電（上海）有限公司


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晶圓自動(dòng)切邊機(jī)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間：2023-08-30 10:06:36瀏覽次數(shù)：217次

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商鋪產(chǎn)品：29條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：李經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

使用高精密的激光加工掃描技術(shù)，應(yīng)用于GPP二極管晶圓中各種圖形切割加工

詳細(xì)介紹

使用高精密的激光加工掃描技術(shù)，應(yīng)用于GPP二極管晶圓中各種圖形切割加工。加入自動(dòng)上料和下料系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全程自動(dòng)化加工。采用*的掃描振鏡加工配合X Yθ三軸平臺(tái)切割圖形，使用CC D圖像識(shí)別系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)加工件自動(dòng)識(shí)別，定位和自動(dòng)加工。

設(shè)備型號                                    晶圓自動(dòng)切邊機(jī)

激光類型                          紅外                                 紅外

激光波長                       1064nm                           1064nm

激光功率                         30w                                   50W

掃描速度                      300mm/s                          500mm/s

加工晶圓尺寸          4 inch                                 4 inch

融邊大?。ㄖ本€段）     80~100um                        80~100um

對焦方式                    自動(dòng)（Z 軸運(yùn)動(dòng)）              自動(dòng)（Z 軸運(yùn)動(dòng)）

綜合切割精度                    ±10um                            ±10um

加工定位方式             自動(dòng)上下料＆自動(dòng)對位     自動(dòng)上下料＆自動(dòng)對位

效率（切割）                       ＜ 30s                             ＜ 20s


適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的GPP晶圓的切割。

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