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INFICON BPG400 大氣壓至超高真空真空計(jì)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

益處測(cè)量范圍非常廣

詳細(xì)介紹

益處

  • 測(cè)量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
  • 10-8 … 10-2 毫巴過(guò)程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性
  • 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下燈絲過(guò)早燒毀和過(guò)度污染
  • 使用壽命長(zhǎng)的氧化釔銥絲
  • 備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
  • 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
  • RoHS 合規(guī)
  • 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

典型應(yīng)用

  • 對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測(cè)量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

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