蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司
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更新時間：2023-07-03 13:44:32瀏覽次數(shù)：413次
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產(chǎn)品介紹:1.曝光面積：4英寸 2.曝光波長：365nm 3.分辨力：1.5um（膠厚2 um的正膠）4.對準精度：±1um。...
1．技術參數(shù)
1）曝光面積：4英寸
2）曝光波長：365nm
3） 分辨力：1.5um（膠厚2 um的正膠）
4）對準精度：±1um
5） 掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm
6）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
7）樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm
厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)
8）曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
9）照明不均勻性： 5%（f100mm 范圍）
10）雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數(shù)400倍，光學+電子放大800倍
物鏡三對：4倍、10倍、20倍
目鏡三對：10倍、16倍、20倍
11）掩模相對于樣片運動行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
12）汞燈功率：200W（直流）
13）曝光能量密度：6mW/cm
2．外形尺寸：650mm（長）′600mm(寬) ′900mm（高）
3．配置
3.1. 曝光頭
1）200W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
2） XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
3）光學系統(tǒng)
4）冷卻風扇
3.2. 對準工件臺
1）掩模樣片整體運動臺
2）掩模樣片相對運動臺
3）轉(zhuǎn)動臺
4）樣片調(diào)平機構,手動
5）樣片調(diào)焦機構，手動
6）承片臺3個（f50mm 、?75mm 、 ?100mm ）
7）掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
8）掩模抽拉式上下機構
3.3. 對準顯微鏡
9）光源（配備品2只）、電源
10）雙目雙視場對準顯微鏡主體
11）目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）
12）物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）
13）CCD（中國臺灣）
14）21寸液晶顯示器
3.4. 電控系統(tǒng)
1）汞燈觸發(fā)電源(200W直流汞燈)
2）單片機控制系統(tǒng)
3）控制機箱
3.5. 氣動系統(tǒng)
1）氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等
2）電磁閥驅(qū)動
3）氣動儀表
3.6. 其他附件
1）真空泵一臺
2）管道
3.7. 技術資料
1）使用維修說明書
2）顯微鏡使用說明書
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