序號項目詳細說明1光源燈管類型LED2燈管廠家(品牌)日本3燈管波長365nm365+405nm4　燈管光強新燈管光強強度5-50MW/CM25　均勻度要求（9點測量）均勻度≥95%6　平行半角≤2度利用光斑計算三角形的直角邊得到夾角7燈管保證使用壽命（H）20000H8對位CCD4個(紅外黃光)9CCD分辨率(像素)200萬10對位方式自動抓靶對位11對位形式A

詳細介紹

序號		項目	詳細說明
1	光源	燈管類型	LED
2		燈管廠家(品牌)	日本
3		燈管波長	365nm 365+405nm
4		燈管光強	新燈管光強強度5-50MW/CM2
5		均勻度要求（9點測量）	均勻度≥95%
6		平行半角≤2度	利用光斑計算三角形的直角邊得到夾角
7		燈管保證使用壽命（H）	20000H
8	對位	CCD	4個(紅外黃光)
9		CCD分辨率(像素)	200萬
10		對位方式	自動抓靶對位
11		對位形式	A.上底片與下底片之間自動對位。 B.上底片與制程板之間自動對位(孔或PAD)
12		對位精度	一次熔絲上下菲林對位精度小于15um 二次菲林與產(chǎn)品對位精度小于15um
13	解析能力	最小解析線寬能力	25um
14	性能要求	制作板子厚度	0.1--2mm
15		有效曝光面積	66英寸（實際曝光面積需要大于66英寸）
16		產(chǎn)能要求	3-4片/min，從上板到下板
17		操作方式	觸控式操作界面
18		曝光方式	雙面曝光
19		底片安裝方式	上下底片真空吸附，自動安裝。
20		作業(yè)產(chǎn)品	干膜
21		機臺尺寸	高長寬：180012001200
22		真空值、真空均勻性能力	大于-80kpa
23		臺面平整性	≤0.1mm
24		底片架設(shè)	半自動
25		作業(yè)方式	底片安裝（作業(yè)員）→放入基板后（作業(yè)員）→上下底片自動對位（上下底片與產(chǎn)品自動對位）→對位判定OK后→開始抽真空→真空達到要求后進行自動曝光→曝光完成后自動出料（曝光結(jié)束）
28	附加功能	數(shù)據(jù)存儲、	可增加掃碼功能,作業(yè),對位數(shù)據(jù)存儲

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