ICP-500全自動感應耦合等離子體刻蝕機

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質其他

所在地北京市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

包裝印刷網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-07-03 09:40:27瀏覽次數(shù)：280次

聯(lián)系我時，請告知來自包裝印刷網(wǎng)

暫無信息

北京金盛微納科技有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：27條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：林平

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

本產(chǎn)品是“感應耦合離子體刻蝕機(ICP)"的全自動產(chǎn)品

詳細介紹

本產(chǎn)品是“感應耦合離子體刻蝕機(ICP)"的全自動產(chǎn)品。

詳細描述

本產(chǎn)品具有三種功能：等離子體刻蝕(PE)、反應離子刻蝕(RIE)、感應耦合等離子體刻蝕(ICP)。其刻蝕原理不盡相同，既有純化學的，也有物理與化學相結合的模式。它既可以進行細線條（納米）加工，又可以進行體加工。

本設備具有選擇比好，刻蝕速度快、重復性好等特點，它較RIE具有更好的綜合刻蝕效果且應用范圍更廣?？煽涛g的材料主要有Poly-Si、Si、SiO2、Si3N4、W、Mo、GaN、GaAs等。

本產(chǎn)品通過對真空系統(tǒng)、工作壓強、射頻電源匹配、氣體流量及工藝過程的全自動控制，使工藝的重復性、穩(wěn)定性、可靠性得到有效保證，并能精確地控制圖形的剖面，從而獲得好的刻蝕效果。

本產(chǎn)品通過軟、硬件相互配合的互鎖、智能監(jiān)控、在線狀態(tài)記憶、斷點保護等設計，結合各種硬保護裝置、使設備的安全性、可靠性得到有效保證。

本設備主要用于微電子、光電子、通訊、微機等領域的器件研發(fā)和制造。

產(chǎn)品主要性能指標

型號	ICP-500
真空系統(tǒng)	分子泵機組
刻蝕室數(shù)量	單室
刻蝕室規(guī)格	?300×280mm
電極尺寸	?200mm
刻蝕材料	Poly-Si、Si、SiO₂、Si₃N₄、W、Mo、GaN、GaAs等
刻蝕速率	～4 μ/min （與刻蝕材料和工藝有關）
刻蝕不均勻性	≤±5%
自動化程度	真空系統(tǒng)、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動控制。
人機界面	Windows環(huán)境、觸摸屏操作
操作方式	全自動方式、非全自動方式
自動化裝置的選配	可選擇進口件或國產(chǎn)件