真空干燥機（VCD）

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廠商性質其他

所在地東莞市

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更新時間：2023-06-29 13:37:37瀏覽次數(shù)：622次

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東莞勝柏電子有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：51條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：楊小姐

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產(chǎn)品簡介

基本規(guī)格：1

詳細介紹

基本規(guī)格：
1.腔體及機架：
A. Chamber and Frame:
腔體尺寸：約300mm（D）x300mm（W）x 250mm（H）（以實際設計為主）
Chamber material：鋁A6061
2.抽氣系統(tǒng)：
A. Pump：
a）干式真空幫浦（Dry Pump）=>For Chamber
model:Edwards iXL120
排氣速度：65 cfm
B. Valve and Piping:（氣動閥件）
Rough Valve:NW 50 Angle Valve×1
For vent：?1/4"Gas valve×1（CDA vent）
For gas：?1/4"Gas valve×1
手動閥（供斷電泄氣用）：?1/4"valve×1
3.測量：
真空測量：Convectron gauge，measuring range: 760 Torr ~ 10-3 Torr
ATM Sensor×1pc
4.基板乘載機構：
size：可置入200mm×2000mm玻璃，single piece
制程壓力：可穩(wěn)定于1pa，采用手動閥微調。
5.控制系統(tǒng)：
制程可使用全電腦控制，自行設定制程參數(shù)控制系統(tǒng)：
*PLC（三菱）控制系統(tǒng)+ PC control＋15"Touch Monitor
自動抽氣、自動泄氣程序設定
電腦即時設定真空度及氣體流量設定，即時顯示并記錄真空度及氣體流量設定
電腦即時顯示并記錄真空度及氣體流量設定之曲線圖，并可設定曲線之取樣頻率及范圍
可由電腦打印真空度及氣體流量設定之曲線圖及Data并可輸出為計算機檔案
可查詢整年度之歷史數(shù)據(jù)，顯示并記錄機臺所有異常數(shù)據(jù)（包括異常內容及異常時間）
可由電腦設定使用者權限管理（包含：TE、EE、PE、ME）
可由電腦自動執(zhí)行腔體漏率測試，即時顯示并記錄測試結果
所有參數(shù)設定可自行設定誤差值誤差時間并提供警報
提供彈性化制程氣體及管路設定控制界面，配合權限管理可自由增加或減少制程氣體

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