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Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀

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產(chǎn)品型號(hào)4200A-SCS

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)要描述：4200A-SCS 是一個(gè)模塊化、可定制、高度一體化的參數(shù)分析儀，可同時(shí)進(jìn)行電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 電學(xué)測(cè)試。

詳細(xì)介紹

測(cè)試速度提高兩倍，助力探索創(chuàng)新

4200A-SCS 是一個(gè)模塊化、可定制、高度一體化的參數(shù)分析儀，可同時(shí)進(jìn)行電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 電學(xué)測(cè)試。使用其可選的 4200A-CVIV 多通道開(kāi)關(guān)模塊，可輕松地在 I-V 和 C-V 測(cè)量之間切換，而無(wú)需重新布線(xiàn)或抬起探針。4200A-SCS 是較高性能的分析儀，可加快用于材料研究、半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)、工藝開(kāi)發(fā)或生產(chǎn)的復(fù)雜器件的測(cè)試。

特點(diǎn)	優(yōu)勢(shì)
將源測(cè)量單元、C-V 單元和超快脈沖 I-V 單元無(wú)縫結(jié)合的一體化系統(tǒng)	快速、清晰和準(zhǔn)確地執(zhí)行 I-V 特性分析、交流阻抗測(cè)量、波形捕獲和瞬態(tài) I-V 測(cè)量
Clarius™ 基于 GUI 的軟件，支持觸摸或鼠標(biāo)控制	高級(jí)測(cè)試定義、參數(shù)分析、圖形繪制和自動(dòng)化功能，實(shí)現(xiàn)清晰、的測(cè)量和分析
內(nèi)置上下文相關(guān)的測(cè)量視頻和 450 多種應(yīng)用測(cè)試	快速啟動(dòng)測(cè)試及提供測(cè)量幫助和故障排除向?qū)?/td>
I-V 源測(cè)量單元 (SMU)	±210 V / 100 mA 或 ±210 V / 1 A 模塊，100 fA 測(cè)量分辨率，以及帶可選前放的 0.1 fA 測(cè)量分辨率
C-V 多頻率電容單元 (CVU)	交流阻抗測(cè)量（C-V、C-f、C-t），1 kHz – 10 MHz 頻率范圍
I-V/C-V 多通道開(kāi)關(guān)模塊 (CVIV)	在 I-V 和 C-V 測(cè)量之間輕松切換或?qū)?C-V 測(cè)量移至任何終端，而無(wú)需重新布線(xiàn)或抬起探針
脈沖式 I-V 超快脈沖測(cè)量單元 (PMU)	兩個(gè)獨(dú)立或同步的高速脈沖式 I-V 源和測(cè)量通道；200 MSa/s，5 ns 采樣率；利用可選的前放將電流靈敏度擴(kuò)大到幾十皮安
高電壓脈沖發(fā)生器單元 (PGU)	兩通道高速脈沖電壓源；±40 V (80 V p-p)，±800 mA
可定制和升級(jí)	現(xiàn)在或以后均可根據(jù)需要隨時(shí)添加模塊

4200A-SCS

電流-電壓 (I-V) 范圍	電容-電壓 (C-V) 范圍	脈沖 I-V 范圍
0.1 fA – 1 A 0.2 µV – 210 V	1 kHz – 10 MHz	±40 V (80 V p-p)，±800 mA 200 MSa/s，5 ns 采樣率

配置	技術(shù)數(shù)據(jù)
4200A-SCS-PK1 高分辨率 IV 套件	210V/100mA，0.1 fA 分辨率用于兩端或三端器件，MOSFET，CMOS 等特性分析 4200A-SCS-PK1 套件包括： 4200A-SCS 參數(shù)分析儀 (2) 4200-SMU 模塊 (1) 4200-PA 前放 (1) 8101-PIV 測(cè)試夾具盒，帶標(biāo)準(zhǔn)樣品
4200A-SCS-PK2 高分辨率 IV 和 CV 套件	210V/100mA，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 用于表征高 κ 電介質(zhì)、深度亞微米 CMOS 器件 4200A-SCS-PK2 套件包括： 4200A-SCS 參數(shù)分析儀 (2) 4200-SMU 模塊 (1) 4200-PA 前放 (1) 4210-CVU 電容-電壓模塊 (1) 8101-PIV 測(cè)試夾具盒，帶標(biāo)準(zhǔn)樣品
4200A-SCS-PK3 高分辨率和高功率 IV 和 CV 套件	210V/1A，0.1 fA 分辨率，1kHz - 10MHz 用于表征功率器件、高 κ 電介質(zhì)、深度亞微米 CMOS 器件 4200A-SCS-PK3 套件包括： 4200A-SCS 參數(shù)分析儀 (2) 4200-SMU 模塊 (2) 4210-SMU 模塊 (1) 4200-PA 前放 (1) 4210-CVU 電容-電壓模塊 (1) 8101-PIV 測(cè)試夾具盒，帶標(biāo)準(zhǔn)樣品
4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件	用于使用硅 CMOS 技術(shù)進(jìn)行的復(fù)雜 NBTI 和 PBTI 測(cè)量 4200-BTI-A 套件包括： (1) 4225-PMU 超快 I-V 模塊 (2) 4225-RPM 遠(yuǎn)程前置放大器/開(kāi)關(guān)模塊自動(dòng)化檢定套件 (ACS) 軟件超快 BTI 測(cè)試項(xiàng)目模塊電纜