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ALD-1200-PE原子層氣相沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號ALD-1200-PE

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產(chǎn)品簡介

簡要描述：南京博蘊通 ALD-1200-PE原子層氣相沉積系統(tǒng)

詳細介紹

產(chǎn)品介紹：

ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統(tǒng)由滑動管式爐、石英真空室、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)和ALD系統(tǒng)組成。

這款ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統(tǒng)以Kanthal A1 電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，過零觸發(fā)、

可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時真空度能夠

達到10-3 Pa，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能、等優(yōu)點。

開蓋保護系統(tǒng)：該爐安裝有行程開關(guān)，當爐蓋打開時會自動切斷電源，有效地保證使用者的安全。

型號		ALD-TL1200-PE -I			ALD-TL1200-PE -II	ALD-TL1200-PE -III
ALD 控制面板		1 、5路控制溫控系統(tǒng)，可以加熱ALD里管路和ALD容器內(nèi)液體 2、2路氣體脈沖交替控制系統(tǒng)（交替時間、交替次數(shù)等、用單片機或PLC 控制能夠達到ms）
ALD閥門		1、能夠在不到 5 ms 內(nèi)完成閥門開啟或關(guān)閉 2、高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命、在產(chǎn)品評估是循環(huán)次數(shù)超過了次 3、耐熱執(zhí) 行器、耐溫高達200°C（392°F）
ALD原理		ALD化學氣相沉積是將不同的反應(yīng)前驅(qū)物以氣體脈沖的形式交替送入反應(yīng)室中并在沉積基體上化學吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種方法（技術(shù)）
ALD-PECVD簡圖		1、 2個石英容器與ALD管路連接 2、 2個ALD閥門、控制2路管道交替脈沖輸入 3、多根加熱管給ALD管道和石英容器加熱、保證被汽化液體保持汽化狀態(tài)進入反應(yīng)區(qū)域。 4、多個球閥控制管路的通過。 5、多個旁通支路、可以通氣其他氣體或運載氣體。
功率		3.5KW
TL1200 管式爐	爐管尺寸	Dia 60(OD) X1800mm			Dia 80(OD) X1800mm	Dia 100(OD) X1800mm
	外形尺（LXDXH）	1300X410X610			1300X410X610	1300X410X660
	電源電壓	220V
	相數(shù)	單相
	加熱元件	進口瑞典Canthal A1 電阻絲
	控制方式	采用宇電程序控溫儀表（標配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配） 4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能（更換進口儀表，需要另外付費，選購） FP93控溫儀表歐陸儀表觸摸屏儀表（日本島電）
	控溫模式	智能PID
	斷偶保護和顯示	有
	過溫保護	有
	過流保護	有
	控制精度	+/- 1 ℃
	觸發(fā)器	移相觸發(fā)
	電器	浙江正泰
	可控硅	106/16E 德國西門康
	溫度	1200 ℃
	額定溫度	1100 ℃
	升溫速率	≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改）
	推薦升溫速率	≤10℃/ Min
	熱電偶型號	K 型
	加熱段長度	440mm
	電器認證
	四周表面溫度	≤45℃
射頻電源（等離子體發(fā)生器）	功率輸出范圍	0-500W
	反射功率	200W
	工作頻率	射頻：13.56MHZ±0.005%
	功率穩(wěn)定度	+/-0.1%
	諧波分量	≤-50dbc
	射頻區(qū)域?qū)挾?/p>	0-600mm 可調(diào)
	匹配方式	自動
	冷卻方式	分冷
	噪聲	<50dB
	射頻接口	50Ω N-type
	輸入電源	208-240V 50/60HZ
GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)	質(zhì)量流量計	量程和氣體	5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型）
		耐壓	3MP
		流量控制精度	±1.0%F.S
		工作（使用）壓力	0.3MPa
		線性	±0.5%F.S.
		重復(fù)精度	±0.2% F.S
	路數(shù)	1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）
	接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
	系統(tǒng)工作壓力范圍	0.1~0.5 MPa
	工作溫度	5-45℃
	壓力真空表表	-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
	靜態(tài)混氣室	Dia50 X 400MM
	接口	Dia6 / 1/4”
VS-0.1抽氣系統(tǒng) 方案一或方案二任選一個	電源	220V
	尺寸	650X650X600 / 650X650X300
	波紋管	KF25X1000mm
	用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達	10 -1Pa
	真空擋板閥	KF25
	VRD-8真空泵方案一	型號		VRD-8
		極限分壓強		5X10-2 Pa
		進排氣接口		KF25
		電機轉(zhuǎn)速		1440RPM
		抽氣速率		2.2L/S
		電機功率		0.4KW
	Preiffer ACP15無油多級羅茨泵方案二	型號		ACP15
		電源		AC100-240 50/60HZ
		功率		450W
		重量		25KG
		氦氣漏率		5 · 10-8 Pa m3/s
		抽氣速率		14 m3/h
		極限壓強		0.02Torr
		進、排氣接口		KF25
	電阻真空計（方案一）	型號		ZDR-1
		功率		25W
		真空度測量范圍		0.1-10 5 Pa
		電阻硅		ZJ-52T
	瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷電容真空計（方案二）	型號		PCG554
		輸入電壓		24V 1A DC（配有220V變壓器）
		真空計接口		KF16
		數(shù)字顯示		數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
		產(chǎn)品尺寸		46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
		重量		5 lbs
		檢測氣體		可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復(fù)性好。
		是否防腐		防腐
		響應(yīng)時間		≤30ms
		測量范圍		3.8x10-5 -1125 Torr.
分子泵機組（選購）（方案一或方案二任選一個）	機組輸入電壓	380V /220V
	波紋管	KF40X1000
	真空擋板閥	KF40
	機箱尺寸	600X600X600
	分子泵（方案一）	分子泵型號		FJ620
		輸入電壓		380V
		分子泵進氣口法蘭		DN160
		分子泵抽氣速率L/S（對空氣）		600
		分子泵極限壓強（Pa)		6×10-7
		冷卻方式		水冷
		冷卻水壓（MPa）		0.1-0.2
		冷卻水溫度		<25℃
		環(huán)境溫度		0~40℃
		建議啟東壓強		<100pa
	分子泵前級真空泵TRP-24 (FJ620分子泵必須要配此前級泵) （方案二）	功率		0.75KW
		電壓		380V
		轉(zhuǎn)速		1450rpm
		進氣口徑		KF25/KF40
		前機泵抽氣速率（L/S）		6
		極限壓強		4X10 -2Pa
	德國Pfeiffer真空泵（方案二）	電壓		220V
		功率		110W
		抽氣接口		KF40
		重量		150KG
		前機泵抽速		0.9m 3/ h
		抽氣速率（N2）		33L/S
	復(fù)合真空計	復(fù)合真空計型號		ZDF
		電源		220V 55W
		控制精度		± 1%
		真空計測量范圍		10-5 -10 5 Pa