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杭州華盼科技有限公司


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教學(xué)型真空鍍膜機(jī)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號SVZK-300

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地杭州市

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更新時間:2023-08-23 15:05:39瀏覽次數(shù):186次

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所在地區(qū):

聯(lián)系人:錢經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

簡要描述:教學(xué)型真空鍍膜機(jī)

詳細(xì)介紹

SVZK-300型多功能真空實(shí)驗儀是一個真空實(shí)驗平臺,適合于對學(xué)生開展真空實(shí)驗教學(xué)??蛇M(jìn)行真空蒸鍍、磁控濺射,它也可以在高純

氣的保護(hù)之下進(jìn)行多種離子處理。用本設(shè)備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進(jìn)行成分分析。傳統(tǒng)的真空實(shí)驗儀器大都由金屬部

件組成,很多主要的實(shí)驗過程不直觀,學(xué)生只能通過儀表了解物理過程。本設(shè)備真空室部分采用高強(qiáng)度玻璃制造,儀器結(jié)構(gòu)緊湊合理,操作

簡單,物理過程直觀,容易引起學(xué)生的興趣,利于提高學(xué)生的實(shí)驗?zāi)芰屠碚撀?lián)系實(shí)際的能力。

可開設(shè)的實(shí)驗:
1、真空的獲得與測量;2、蒸發(fā)法薄膜制備 3、直流磁控濺射鍍膜


設(shè)備的組成:

SVZK-300型多功能真空實(shí)驗儀由電氣控制系統(tǒng)與真空系統(tǒng)組成,其中電氣控制系統(tǒng)包括控制電路、真空測量儀與測量儀表;真空系統(tǒng)

包括玻璃真空室、真空管路、真空機(jī)組(直聯(lián)機(jī)械旋片泵和分子泵構(gòu)成二級真空系統(tǒng))、真空測量。

技術(shù)參數(shù):

1、真空室:采用硬質(zhì)玻璃制造,可直接觀察真空室內(nèi)各部件及實(shí)驗過程。包括真空室底盤、二對無氧銅電極、烘烤加熱器、蒸發(fā)擋板、襯底加熱燈管。

2、分子泵:本系統(tǒng)采用F160/620渦輪分子泵,其冷卻方式為通水冷卻,必須采用水冷。

3、真空控制系統(tǒng):直觀地反映整個真空抽氣過程的原理和各閥門工作狀態(tài)。

4、真空測量系統(tǒng):采用數(shù)顯復(fù)合真空計測量系統(tǒng)的真空度,一路電離規(guī)和一路熱偶規(guī)構(gòu)成高、低真空測量。(儀器自帶2路熱偶規(guī),可根據(jù)需要安裝在不同位置,需額外增加配件.)熱偶規(guī): 4.0x102Pa——1.0x10-1Pa電離規(guī): 1.0x10-1Pa——1.0x10-5Pa

5、烘烤加熱系統(tǒng):真空室烘烤和襯底加熱采用高品質(zhì)溫度控制器進(jìn)行加熱控溫;

6、蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng):采用單相整流固態(tài)調(diào)壓方式控制蒸發(fā)鍍膜電源,蒸發(fā)電流調(diào)節(jié)及電壓、電流指示。

7、電源總控系統(tǒng):整機(jī)的電源控制及工作狀態(tài)指示。


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