CSC系列半導(dǎo)體材料電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)
CSC系列半導(dǎo)體材料電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)是基于Partulab CPS系列低溫真空探針臺(tái)和Keithley 4200-CSC半導(dǎo)體參數(shù)分析集成設(shè)計(jì)而成，是一款常溫或高低溫條件下測(cè)量有機(jī)半導(dǎo)體器件、納米器件及薄膜材料電學(xué)性能測(cè)量的綜合性測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)-160℃-400℃、空氣和真空條件下的半導(dǎo)體器件和材料電壓-電流（I-V）測(cè)量、超快脈沖電壓-電流（I-V）測(cè)量、電容-電壓（CV）測(cè)量、DLCP測(cè)量、電阻（RT）和電阻率（ρT）測(cè)量、Hall電壓測(cè)量等，廣泛就用于高校、科研、航空航天、院所等領(lǐng)域，是目前科研教學(xué)表征和測(cè)量半導(dǎo)體器件和薄膜材料的較佳綜合測(cè)量系統(tǒng)。
測(cè)試原理：
CSC系列半導(dǎo)體材料電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)主要由Partulab CPS-7000低溫真空探針臺(tái)、Keithley 4200-CSC半導(dǎo)體參數(shù)分析儀和LVRMeaskit直流低溫電阻測(cè)量套件組成。系統(tǒng)配備Lakeshore336溫控儀可以與Keithley 4200-CSC和keysight B1500A半導(dǎo)體參數(shù)分析儀無縫連接，直接可以在半導(dǎo)體參數(shù)分析儀實(shí)現(xiàn)器件和材料的變溫電學(xué)測(cè)量，無需客戶再編寫應(yīng)用程序，大大節(jié)約器件和材料研發(fā)時(shí)間。
樣品溫度準(zhǔn)確性和溫度穩(wěn)定性是整個(gè)低溫系統(tǒng)的關(guān)鍵，系統(tǒng)配置3個(gè)低溫傳感器，一個(gè)在樣品臺(tái)上，一個(gè)在屏蔽罩上，一個(gè)在探針臂上，通過監(jiān)測(cè)三個(gè)地方的溫度，確保可以提供一個(gè)準(zhǔn)確地控溫環(huán)境。為了避免探針臂的溫度傳送到樣品上，導(dǎo)致樣品溫度高于樣品臺(tái)溫度，探針臂和探針必須做熱沉處理。
Partulab CPS系列低溫真空探針臺(tái)
配置：
CPS-7000低溫真空探針臺(tái)（二選一）
--4軸或6軸液氮/液氦開環(huán)低溫探針臺(tái)
--Lakeshore 336溫控儀及傳感器
CPS-8000低溫真空探針臺(tái)（二選一）
--4軸或6軸GM制冷機(jī)閉環(huán)低溫探針臺(tái)
-Lakeshore 336溫控儀及傳感器
PPS-90真空輔助系統(tǒng)
--包含分子泵機(jī)組、真空閥門、真空測(cè)量
VSZ70KIT 可視化視覺系統(tǒng)
--7:1變焦、彩色CCD、同軸環(huán)形光可調(diào)電源
技術(shù)規(guī)格：
探針臂個(gè)數(shù)：4個(gè)或6個(gè)
測(cè)量溫度：-160℃~400℃/10k~675k
降溫時(shí)間：~45min to 110k AC
真空度：~106mbar
較大樣品尺寸：≤51mm
可視系統(tǒng)：7:1變焦，彩色CCD，同軸環(huán)形光可調(diào)電源
碳化鎢探針夾具阻抗：50Ω
電壓測(cè)量：1μV~200V，分辨率1μV
電流測(cè)量：100fA~1A，較小分辨率100fA
阻抗測(cè)量：1kHz至10MHz
測(cè)量參數(shù)：C電容
C-V測(cè)量的電壓：內(nèi)置±30V DC偏置裝置
XYZ位移平臺(tái)行程：X軸51mm，精度20μm；Y軸25mm，精度10μm；Z軸25mm
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QQ:2568841715
