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4850 | 4860系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量控制器

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4850/4860系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器彈性體密封熱響應(yīng)時(shí)間極快，適用于對(duì)時(shí)間要求嚴(yán)格的工藝熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器的響應(yīng)速度越快，工藝就越高效，生產(chǎn)效率越高

詳細(xì)介紹

4850 / 4860系列橡膠密封熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器

彈性體密封熱

響應(yīng)時(shí)間極快，適用于對(duì)時(shí)間要求嚴(yán)格的工藝

熱式質(zhì)量流量計(jì)和控制器的響應(yīng)速度越快，工藝就越高效，生產(chǎn)效率越高。響應(yīng)速度是 4800 系列的優(yōu)勢(shì)：該產(chǎn)品將基于 MEMS 的熱傳感器與的 PID 算法相結(jié)合以控制閥的響應(yīng)速度，因此使4800 系列控制器能夠根據(jù)設(shè)定值變化快速匹配實(shí)際的流量。本地操作界面 (LOI) 的選項(xiàng)能便于用戶對(duì)設(shè)備進(jìn)行查看、控制和配置，無(wú)需遠(yuǎn)程二次儀表。

4800

特點(diǎn)

  • 流量響應(yīng)時(shí)間（完成時(shí)間）<0.75 s
  • MEMS 傳感器和 PID 算法
  • 尺寸小巧，不足常規(guī)熱式MFC的 一半：1” x 3”x 4” (25 mm x 76 mm x 101 mm)
  • 本地操作界面 (LOI) 選項(xiàng)可簡(jiǎn)化設(shè)置和操作；免費(fèi)提供 LabVIEW VI 下載以進(jìn)行設(shè)備監(jiān)測(cè)和調(diào)零
  • 通過(guò) RS-232 實(shí)現(xiàn)數(shù)字化功能

優(yōu)勢(shì)

  • 非常適用于各種常見(jiàn)的無(wú)腐蝕性氣體
  • 響應(yīng)速度快，可在切換工藝配方時(shí)確保各步驟的迅速完成
  • 非常適用于各 OEM：尺寸小巧，集成至緊湊的設(shè)備空間內(nèi)并有助于加快安裝
  • 可選本地操作界面 (LOI) 是本地指示、設(shè)定值控制和設(shè)備配置的一站式解決方案；無(wú)需借助遠(yuǎn)程二次儀表
  • 擁有多種通信方式，可輕松滿足用戶需求

應(yīng)用

  • 熱處理、切割/焊接等其他熱式工藝
  • 太陽(yáng)能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
  • 用于測(cè)量和控制反應(yīng)物、校準(zhǔn)和樣品氣體流量的分析設(shè)備


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