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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)VTC-200-4P

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有

機(jī)

空

穴

傳

輸

材

料

涂

布

紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)

VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、顯影機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、spin coater主要用于半導(dǎo)體工藝、制版工藝過程中圖形的顯影及表面涂覆工藝，是一款上蓋可以加熱的勻膠機(jī)、顯影機(jī)，在勻膠或顯影過程結(jié)束后使用加熱功能使膠體薄膜中的溶劑繼續(xù)蒸發(fā)到含量低。工作過程中顯影液或膠體以霧狀噴到樣片上，使溶液在樣片表面均勻分布，有利于薄膜和顯影過程的順利進(jìn)行。本機(jī)電機(jī)部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨(dú)立電源進(jìn)行控制，電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進(jìn)行控制，轉(zhuǎn)數(shù)在100-2000RPM范圍內(nèi)可調(diào)。涂膜機(jī)在工作時(shí)設(shè)有兩個(gè)階段，在啟動(dòng)前根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行設(shè)置。VTC-200-4P紅外加熱噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂?jī)x、顯影機(jī)、spin coater啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。對(duì)于樣件的固定，采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板，不僅樣件取放自如，而且操作簡(jiǎn)便。此外，在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，降低運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。

主要特點(diǎn)

1、采用橡膠吸盤和磁力鋼片模板固定樣件，不僅樣件取放自如，而且操作簡(jiǎn)便；橡膠吸盤和磁力鋼片模板大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。
2、該機(jī)上蓋具有紅外加熱功能，可以使溫度保持在一個(gè)穩(wěn)定值。
3、本機(jī)上蓋具有4組噴嘴，可使膠體以霧狀噴在樣片表面，使薄膜更均勻。
4、電機(jī)部分、溫度控制部分、注液部分分別使用獨(dú)立電源的方式，電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)則采用了抗干擾性高的PLC進(jìn)行控制，數(shù)值顯示更直觀可靠，轉(zhuǎn)數(shù)在100-2000RPM內(nèi)可調(diào)。
5、涂膜機(jī)在工作時(shí)設(shè)有兩個(gè)階段，在啟動(dòng)前根據(jù)實(shí)際需要，可分別進(jìn)行時(shí)間1、轉(zhuǎn)速1、時(shí)間2、轉(zhuǎn)速2的設(shè)置。設(shè)置完成啟動(dòng)后，涂膜機(jī)先以轉(zhuǎn)速1在時(shí)間1時(shí)間內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn)，使涂膜物質(zhì)逐漸分散開。當(dāng)時(shí)間1時(shí)間結(jié)束時(shí)，涂膜機(jī)自動(dòng)進(jìn)入時(shí)間2時(shí)間階段運(yùn)轉(zhuǎn)，使涂膜物質(zhì)更加均勻。
6、噴霧旋轉(zhuǎn)涂覆機(jī)啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定，可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。
7、在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，降低運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。
8、腔體采用聚丙烯材質(zhì)，使用壽命更長(zhǎng)，提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能；機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu)，結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。

基

本

參

數(shù)

1、電源：AC220/110V、50/60Hz
2、電機(jī)功率：功率210W

3、雙轉(zhuǎn)速涂膜功能:

雙轉(zhuǎn)速及涂膜時(shí)間分別設(shè)置，在啟動(dòng)后先低速運(yùn)轉(zhuǎn)(滴涂膠液)，然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)(勻膠)。轉(zhuǎn)速穩(wěn)定（±1%），涂膜物質(zhì)均勻。

轉(zhuǎn)數(shù)1：100-2000 RPM有效
時(shí)間1：1--200s有效
轉(zhuǎn)數(shù)2：100-2000 RPM有效
時(shí)間2：1--200s有效
4、適用于Φ153mm樣件涂膜。
5、上蓋加熱溫度范圍：0-100℃。
6、環(huán)境溫度5-40℃，相對(duì)濕度不大于85%RH,設(shè)備周圍無(wú)強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體影響。

安裝條件：

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設(shè)備配有進(jìn)出水口
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：不需要
4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
5、通風(fēng)裝置：需要

產(chǎn)品規(guī)格：

主機(jī)外形尺寸500mm（長(zhǎng)）×410mm（寬）×330mm（高），
重量24Kg。

可選配件：

橡膠吸盤

磁力鋼片模板（可定制）

標(biāo)準(zhǔn)配件：

1 磁性鋼片模板（Ф160mm） 1個(gè)

2 吸盤(Ф153mm) 1個(gè)

3 溫控箱 1臺(tái)

4 蠕動(dòng)泵 6臺(tái)

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