一、 說明及注意事項(xiàng)：

1、 凈化器氣體流量1liter/min

2、 凈化器入口氣體的純度要求大于99.999%

3、 凈化器入口氣體壓力不得大于1.0Mpa

4、 凈化器兩端堵頭螺帽在使用前不能松動(dòng)，以防空氣從兩端擴(kuò)散到凈化管內(nèi)部

5、 安裝使用前熟悉安裝程序，并按要求做好準(zhǔn)備工作。

二、 安裝程序：

1、 將兩根配管中的一根與氣源連好，并用惰性氣體小氣流吹掃凈化器內(nèi)和減壓器的空氣，用專用檢漏液檢查所有接頭是否漏氣。

2、 調(diào)節(jié)氣體流量在100ml/min吹掃凈化器3個(gè)小時(shí)后接通電源適配器的電源，此時(shí)凈化器的出口氣體排入大氣中。

3、 通電過程中切不可斷開氣源或者使空氣進(jìn)入凈化器內(nèi)（即使很少量的空氣也不允許），電源接通8小時(shí)后將凈化器出口接入到超純氣體使用設(shè)備并檢查接口是否泄露。

   三、 其他注意事項(xiàng)：

1、 凈化后的氣體與用氣系統(tǒng)的連接，不得用各種橡皮管或聚乙烯管，因?yàn)檫@些材料的管壁都滲透氣體分子，使凈化好的氣體二次污染，降低凈化效果。

2、 如果需要停用，需要先斷開電源適配器的電源，并保持供氣超過3個(gè)小時(shí)，待凈化器內(nèi)溫度降下后方可關(guān)閉氣源，停氣后用專用接頭堵住凈化器的進(jìn)出口防止空氣擴(kuò)散到凈化器 內(nèi)。