Aerotech qnp2雙軸壓電納米定位平臺,QNP2系列XY并聯(lián)運(yùn)動壓電定位平臺在緊湊，小巧的封裝中結(jié)合了亞納米級分辨率，高動態(tài)性能和出色的幾何性能,QNP2壓電位移臺采用平行運(yùn)動的彎曲和計量設(shè)計，可確保水平的多軸精度。借助經(jīng)過FEA優(yōu)化的精密撓曲，以確保高剛度和長使用壽命，QNP2位移臺具有1流的剛度和共振頻率，從而實(shí)現(xiàn)了高工藝通量和快速的閉環(huán)響應(yīng)。

      從1970年起，AEROTECH就為用戶設(shè)計和制造zui高性能的運(yùn)動控制（motion control）和定位系統(tǒng)（positioning systems）。用戶覆蓋世界各地的工業(yè)，政府，科學(xué)和研究機(jī)構(gòu)。AEROTECH精密的運(yùn)動控制產(chǎn)品（motion control products）為當(dāng)前要求苛刻的市場如:

醫(yī)療設(shè)備和生命科學(xué)(medical device and life sciences)， 半導(dǎo)體和平板顯示(medical device and life sciences)， 光子學(xué)(photonics)， 汽車(automotive)， 數(shù)據(jù)存儲(data storage)， 激光處理(laser processing)， 軍shi/航空宇宙(military/aerospace)， 電子制造和測試(electronic manufacturing and test)， 裝配(assembly)， 研究和開發(fā)(research and development)，及其他需要高精度，高生產(chǎn)能力運(yùn)動解決方案的應(yīng)用提供了zui高的性能。

Aerotech qnp2雙軸壓電納米定位平臺,QNP2系列XY并聯(lián)運(yùn)動壓電定位平臺在緊湊，小巧的封裝中結(jié)合了亞納米級分辨率，高動態(tài)性能和出色的幾何性能,QNP2壓電位移臺采用平行運(yùn)動的彎曲和計量設(shè)計，可確保水平的多軸精度。借助經(jīng)過FEA優(yōu)化的精密撓曲，以確保高剛度和長使用壽命，QNP2位移臺具有1流的剛度和共振頻率，從而實(shí)現(xiàn)了高工藝通量和快速的閉環(huán)響應(yīng)。。QNP2系列壓電平臺具有大的，清晰的孔徑，閉環(huán)行程可達(dá)200 µm x 200 µm（開環(huán)行程為240 µm x 240 µm）。該設(shè)計非常適合光學(xué)顯微鏡，掃描探針顯微鏡，X射線透射顯微鏡或需要兩側(cè)零件訪問的其他檢查或制造應(yīng)用。與Aerotech的Q系列控制器和驅(qū)動器配合使用時，QNP2位移臺具有亞納米級的定位分辨率，在位穩(wěn)定性（抖動）和高定位帶寬。諸如Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer軟件包之類的軟件選件提供了許多*而易于使用的工具，例如Learning Control，Harmonic Cancellation和Command Shaping，從而改善了跟蹤誤差并縮短了分步和穩(wěn)定時間。還提供OEM驅(qū)動器選件。Aerotech的控制器架構(gòu)可輕松實(shí)現(xiàn)壓電平臺，伺服系統(tǒng)，步進(jìn)器和振鏡之間的高速，嚴(yán)格控制的協(xié)調(diào)運(yùn)動。

 

XYZ雙軸壓電陶瓷平臺：

     QNP3系列XYZ并聯(lián)運(yùn)動壓電定位平臺在緊湊的小尺寸封裝中結(jié)合了亞納米分辨率，高動態(tài)特性和出色的幾何性能。QNP3系列壓電平臺具有大的，清晰的孔徑，閉環(huán)行程可達(dá)200 µm x 200 µm x 20 µm（開環(huán)行程為240 µm x 240 µm x 25 µm）。該設(shè)計非常適合光學(xué)和掃描探針顯微鏡或其他檢查或制造應(yīng)用，這些應(yīng)用需要通過三個DoF操作來進(jìn)行兩側(cè)零件的訪問。

設(shè)備壽命長

開環(huán)和真空版本 

高精度，無摩擦的撓性導(dǎo)向

大方形透明光圈，70 mm x 70 mm

通過并聯(lián)運(yùn)動設(shè)計實(shí)現(xiàn)出色的多軸精度

高剛度和動態(tài)特性，可實(shí)現(xiàn)高工藝產(chǎn)量

正在申請zhuan利的設(shè)計提供了的幾何性能

具有直接計量電容傳感器的出色定位分辨率和線性度

Model		QNP3-100XYAZ-030-10	QNP3-100XYAZ-100-10	QNP3-150XYAZ-200-20
Closed-Loop Travel (X x Y x Z)		30 μm x 30 μm x 10 μm	100 µm x 100 µm x 10 µm	200 um x 200 um x 20 um
Open-Loop Travel, -30 to +150 V(1)		36 μm x 36 μm x 12 μm	120 µm x 120 µm x 12 µm	240 um x 240 um x 25 um
Resolution(2)	Closed-Loop	0.1 nm (XY); 0.15 nm (Z)	0.30 nm (XY); 0.15 nm (Z)	0.4 nm (XY), 0.15 nm (Z)
	Open-Loop	0.03 nm (XY); 0.05 nm (Z)	0.15 nm (XY); 0.05 nm (Z)	0.2 nm (XY), 0.1 nm (Z)
Linearity(3,4)		0.02% (XY); 0.04% (Z)	0.01% (XY); 0.02% (Z)	0.01% (XY); 0.02% (Z)
Bidirectional Repeatability(5)		4 nm (XY); 3 nm (Z)	2 nm (XY); 1 nm (Z)	2 nm (XY); 2 nm (Z)
Straightness		25 nm (XY); 50 nm (Z)	<10 nm (xy); <20 nm (z)	10 nm (XY); 40 nm (Z)
2D Flatness (Over Full XY Travel)		10 nm	<5 nm	<10 nm
Pitch		10 μrad (2.1 arc sec) (XY) 6 μrad (1.2 arc sec) (Z)	2 µrad (0.4 arc sec) (XY); 6 µrad (1.2 arc sec) (Z)	2 urad (0.4 arcsec) (XY); 6 urad (1.2 arcsec) (Z)
Yaw		5 μrad (1 arc sec) (XY) 5 μrad (1 arc sec) (Z)	10 µrad (2.1 arc sec) (XY); 5 µrad (1 arc sec) (Z)	20 urad (4 arcsec) (XY); 6 urad (1.2 arcsec) (Z)
Stiffness (in direction of motion)(6)		10 N/μm (XY); 25 N/μm (Z)	1.9 N/µm (XY); 13 N/µm (Z)	1.3 N/µm (XY); 8.7 N/um (Z)
Unloaded Resonant Frequency(6)		1850 Hz (XY); 2200 Hz (Z)	490 Hz (XY); 1425 Hz (Z)	330 Hz (XY); 910 Hz (Z)
Resonant Frequency (200 gram load)(6)		950 Hz (XY); 1390 Hz (Z)	350 Hz (XY); 910 Hz (Z)	260 Hz (XY); 670 Hz (Z)
Max Payload(7)		1 kg	1 kg	3 kg
Max Acceleration (Unloaded)(8)		400 m/s2 (XY); 2000 m/s2 (Z)	115 m/s2 (XY); 2000 m/s2 (Z)	35 m/s2 (XY); 1000 m/s2
Moving Mass (Unloaded)		0.24 kg (XY); 0.05 kg (Z)	0.21 kg (XY); 0.05 kg (Z)	0.58 kg (XY); 0.10 kg
Stage Mass		0.53 kg	0.56 kg	1.3 kg
Material		Anodized aluminum(9)	Anodized aluminum(9)	Anodized aluminum(9)
MTBF (Mean Time Between Failure)		30,000 Hours	30,000 Hours	30,000 Hours

 

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