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螺桿真空泵選型金屬密封法蘭的常見(jiàn)形式螺桿真空泵選型金屬密封法蘭的常見(jiàn)形式

首先是平面法蘭密封。
平面法蘭密封是金屬密封法蘭形式中zui簡(jiǎn)單的一種，常用材料包括鋁、銅、金等。這種法蘭形式密封沒(méi)有配合問(wèn)題，而且表面粗糙度容易達(dá)到，缺點(diǎn)就是密封圈的定位問(wèn)題不容易解決，另外接觸面需要很大的密封力，一般只適用于小直徑的法蘭連接密封。
第二，直角形密封。
直角形密封也被稱為L(zhǎng)形密封。密封臺(tái)階間隙0.025mm，以保證密封圈受壓后呈L形。下法蘭臺(tái)階利用O形圈定位，表面粗糙度由于Ra1.6，O形圈壓縮量為50%，常用O形圈金屬絲直徑有0.5、0.6、0.8、1以及1.5毫米5種。
第三，刀口密封。
刀口密封的密封圈為0.5mm的環(huán)形銅片或鋁片，密封力為280MPa，耐450℃烘烤，可承受多次加熱——冷卻循環(huán)而不漏氣，但配合要求精度高，只用于小尺寸法蘭密封。
第四，斜楔密封。
斜楔密封的刀口角度為70°，高度為1～1.5mm，深度公差±0.075～0.1mm，刀尖圓角半徑為0.1mm，刀口直徑誤差為0.05mm，墊圈材料為寬6mm、厚2～3mm的無(wú)氧高導(dǎo)銅。采用這種密封結(jié)構(gòu)的真空系統(tǒng)，經(jīng)250℃、5小時(shí)高溫烘烤后，可使真空系統(tǒng)獲得2.6×10^-9Pa的真空度。
第五，臺(tái)階密封。
臺(tái)階密封是利用兩直角的剪切力剪切出新鮮金屬面形成密封。兩直角的剪切分相疊結(jié)構(gòu)與相隔結(jié)構(gòu)。墊圈材料為無(wú)氧高導(dǎo)銅，厚度1～3mm。制作時(shí)在950℃的燒氫爐中退火處理，可在450℃溫度下反復(fù)烘烤使用。上下兩直角公差較大，沒(méi)有配合問(wèn)題，加工容易。
除了這幾類常見(jiàn)的金屬密封法蘭形式外，還有圓錐端面密封、鋁箔密封、惠勒密封等形式。
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